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1
用于外圆磨床的磨削过程自动定位装置　[申请号/专利号：200720031684]
申请人/专利权人：西北工业大学
本实用新型公开了一种用于外圆磨床的磨削过程自动定位装置，包括安装板（１）、锁紧板（２）、支架（４）、转臂（５）、可调顶杆（６）和传感器（１０），转臂（５）通过铰链连接在...
2
修整轮上的活性磨粒数目的测定方法　[申请号/专利号：200710162909]
申请人/专利权人：三菱麻铁里亚尔株式会社、阿拉卡公司
本发明涉及一种用于测定修整轮上活性磨粒数目的方法。该方法包括：（ａ）将金刚石修整轮的含有金刚石磨粒的一面朝向检验体的硬质面，使金刚石修整轮和硬质面接触的工序；和（ｂ）在...
2008年4月2日
3
4
带有微进给和快速退回装置的磨机　[申请号/专利号：200520134149]
申请人/专利权人：苏福马股份有限公司
一种带有微进给和快速退回装置的磨机，其主轴进给系统包括安装板、电动机、减速器、联轴器和丝杆升降装置，所述安装板设置在主轴系统上，所述减速器与电动机的输出端相传动连接，所...
5
内孔立式珩磨加工过程中珩磨条状态监控的方法　[申请号/专利号：200510110667]
申请人/专利权人：上海交通大学
一种内孔立式珩磨加工过程中珩磨条状态监控的方法，属于机械加工技术领域。本发明包括以下步骤：（１）功率变换器从珩磨主轴电机的变频器采集珩磨主轴电机的电流和电压信号；（２）...
2006年5月24日
6
具有检测装置的钻头研磨机　[申请号/专利号：200520132994]
申请人/专利权人：邱博洪
本实用新型提供一种具有检测装置的钻头研磨机，包括利用人工进行待研磨与研磨后钻头置换作业的钻头研磨机本体，该钻头研磨机本体外侧处，设置光学感测装置，该光学感测装置包括可对...
7
使用垫调节装置的传感信号来控制化学机械研磨的方法及系统　[申请号/专利号：200480014571]
申请人/专利权人：先进微装置公司
在本发明的系统与方法中，源自垫调节系统的驱动组件的传感信号，例如电机电流信号，被用来估计化学机械研磨（ＣＭＰ）系统内的一个或更多的消耗品（１１３）的状态。...
2006年6月28日
8
用于局部抛光控制的方法和装置　[申请号/专利号：200480005812]
申请人/专利权人：应用材料有限公司
本发明一般地提供了一种用于处理单元中的局部抛光和沉积控制的方法和装置。在一个实施例中，提供一种用于电化学处理衬底的装置，通过控制跨越处理区域的电偏置分布，其选择地抛光衬...
2006年5月10日
9
用于化学机械研磨的漩涡电流监测方法和设备　[申请号/专利号：03803195]
申请人/专利权人：应用材料股份有限公司
一种研磨系统（２０），可具有一转动平台（２４）；一固定于平台上的研磨垫（３０）；一固定基材使其正面朝下对着研磨垫的载具头（１０）；以及一漩涡电流监测系统，该漩涡电流监测...
2006年2月15日
10
双面研磨机的电气装置　[申请号/专利号：200620031839]
申请人/专利权人：赵尧生
一种双面研磨机的电气装置，具有双面研磨机上研磨盘驱动的电气装置、下研磨盘驱动的电气装置和中心轮驱动的电气装置由变频器控制；变频器经空气开关电连接三相电源；监视和操控的电...
11
用于终点检测的抛光衬垫及相关方法　[申请号/专利号：03822308]
申请人/专利权人：应用材料有限公司
一种具有抛光层（２２）的抛光衬垫，该抛光层有抛光面（２４）和底面。抛光面上形成有多条沟槽（２８ｂ），且在抛光层的底面上形成有凹槽（５２）。在抛光面上对应于底面中的凹槽的...
2005年10月12日
12
用于在磁头制造过程中测量研磨量的装置和方法　[申请号/专利号：01811247]
申请人/专利权人：TDK株式会社
本发明的目的是提供一种装置和方法，当进行获得预定的槽缝高度值的一个加工过程或凸面加工等时，所述装置和方法可容易地形成辅助电极等和引导电极之间的连接并可测量要求的研磨量。...
2003年8月13日
13
生产磁换能器的方法　[申请号/专利号：00118848]
申请人/专利权人：TDK株式会社
本发明提供一种用于制造磁换能器的方法和装置和用于制造其磁阻元件特性的变化和在分布的中值变化可以被降低的方法和装置。在开始抛光之前，获取包含对最终ＭＲ阻值具有影响的，在晶...
2001年2月21日
14
切割锯的监视系统　[申请号/专利号：99812719]
申请人/专利权人：库利克-索法投资公司
一种为了过程分析、监视过程稳定性和基片的切割质量而积累切割数据的方法和装置，该装置具有一个与刀片连接的主轴电动机。一个主轴驱动器连接到该主轴以便以预定的旋转速率驱动该主...
2001年11月28日
15
一种研磨机　[申请号/专利号：94193464]
申请人/专利权人：西方阿特拉斯有限公司
一台研磨机具有一个主轴（５），在一个悬臂安装的稀土材料永磁电机（４０）的驱动下旋转。液压油膜轴承（４１、４２）位于主轴（５）的两端和一对青铜轴承（６４、６５）之间以支撑...
1996年9月18日
16
化学/机械平面化端点检测的原位监测法和设备　[申请号/专利号：91102917]
申请人/专利权人：美国电话及电报公司
本发明提供一种在制造半导体或光器件过程中用于化学／机械平面化端点检测的原位监测技术和设备。本发明的检测是以容性测量导电衬底上电介质层厚度来实现的。本测量涉及电介质层、平...
1991年11月13日
17
磨床加工控制器　[申请号/专利号：89220121]
申请人/专利权人：黄石市自动化研究所
本实用新型是一种磨床加工控制装置由主动测量的检测放大电路，单片计算机电路、键盘及显示电路，开关信号输入、输出电路组成。适用于国内机械行业，特别是轴承行业广泛使用的全自动...
18
用于精密磨削的微进给系统　[申请号/专利号：200710036439]
申请人/专利权人：东华大学
本发明公开了一种用于精密磨床的微进给系统，包括驱动装置、执行机构、检测装置和控制系统四部分。驱动装置由压电驱动电源、压电陶瓷、人机接口输入装置、位移一电压数据构造表组成...
2007年9月5日
19
一种砂轮动平衡装置　[申请号/专利号：86207717]
申请人/专利权人：无锡机床厂
一种用于磨床的砂轮动平衡装置，由测振头、测量控制箱和平衡头组成，其平衡头中的电机与减速体一起安装在平衡齿圈中心内且两者的中心线平行，其测量控制采用三个多圈可变电阻器连动...
20
五坐标自适应叶片抛光机电气控制系统　[申请号/专利号：200620168765]
申请人/专利权人：沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司
五坐标自适应叶片抛光机电气控制系统，所述的电气控制系统主要包含以下部分：电动机主控制器、电源、指示灯、电磁换向控制器、模具气缸控制器、其中：电源分别为下述部件供电：电动...
21
压力自动调节系统及方法　[申请号/专利号：200510110712]
申请人/专利权人：上海华虹NEC电子有限公司
本发明公开了一种压力自动调节系统，包括研磨机和控制单元，所述研磨机下部设有研磨垫，所述研磨垫的下侧安装方格网状结构的多个条状压力传感器，所述压力传感器将压力信息传递给控...
2007年5月30日
22
磨床的自动对刀及对刀深度控制装置　[申请号/专利号：200620072686]
申请人/专利权人：南京数控机床有限公司
本实用新型是一种磨床的自动对刀及对刀深度控制装置，其通过检测驱动砂轮转动的电机的电流变化来识别砂轮与工件是否接触的装置，解决的就是现有磨床手工对刀带来不安全、磨削精度低...
23
薄膜磁头的晶圆　[申请号/专利号：200510006676]
申请人/专利权人：新科实业有限公司、新科技研有限公司
本发明公开了一种配置研磨量传感器，以能缩小长形条的切断间隙部的面积的晶圆。在晶圆上搭载了一列以上、通过层叠多层膜而形成的、成为磁头的部分即磁头形成部（３ａ、４ａ）。所述...
2006年8月2日
24
铁路钢轨平直度修复磨削装置　[申请号/专利号：200620041873]
申请人/专利权人：上海理工大学附属二厂
本实用新型公开了一种铁路钢轨平直度修复磨削装置，磨削钢轨上面横向设置有磨削基准横梁，磨削基准横梁侧面上固接有直线导轨，直线导轨上面活动连接有砂轮驱动电机，磨削基准横梁的...
25
表面抛光方法及装置　[申请号/专利号：200710026837]
申请人/专利权人：谢君
本发明涉及一种表面抛光方法及装置，方法步骤为：通过压力传感器检测抛光轮与待抛光工件之间的压力来确定其的相对位置；通过光电检测器检测被抛光工件的已抛光长度；通过以上信号算...
2007年8月8日
26
恒电流砂带研磨机构　[申请号/专利号：200620115100]
申请人/专利权人：杭州祥生砂光机制造有限公司
本实用新型涉及一种恒电流砂带研磨机构和恒电砂光电子线路板的设备，砂带总成驱动主电机上设有电流检测传感器，电流检测传感器的信号输出端接ＰＬＣ控制器的信号输入端，ＰＬＣ控制...
27
抛光设备和抛光方法　[申请号/专利号：200580020375]
申请人/专利权人：株式会社荏原制作所
一种抛光设备，其具有抛光台（１８）和顶圈（２０），所述抛光台具有抛光表面（４０），所述顶圈用于在独立地控制施加于衬底上的多个区域（Ｃ１－Ｃ４）上的压紧力的同时将衬底压靠...
2007年5月30日
28
光纤轴向磨抛厚度精确控制方法及装置　[申请号/专利号：200610169810]
申请人/专利权人：北京交通大学
一种用来实现高精度、长度可控、多光纤同时处理的光纤轴向磨抛厚度精确控制方法及装置。通过调节施加在压电陶瓷ＰＺＴ上的电压，改变待研磨光纤与基准块的相对位置，实现光纤研磨精...
2007年6月6日
29
在化学机械抛光中为了处理状态和控制检测晶片表面特性转变的装置和方法　[申请号/专利号：03812394]
申请人/专利权人：兰姆研究有限公司
在化学机械抛光装置中，提供一个具有空腔的晶片承载板，该空腔用于容纳非常接近待抛光的晶片的传感器。由抛光垫和晶片的暴露表面之间的接触得到的能量仅传送非常短的距离给传感器，...
2006年2月15日
30
用于微电子工件的电化学-机械加工的方法和设备　[申请号/专利号：03808920]
申请人/专利权人：微米技术有限公司
一种用于微电子工件的电化学－机械加工的设备和方法，根据本发明的电化学加工设备包括：设置成用于容纳微电子工件的工件支架、工件电极、第一远程电极和第二远程电极，工件电极设置...
2005年7月27日
31
一种智能控制磨机　[申请号/专利号：200620011897]
申请人/专利权人：济南重工股份有限公司
本实用新型公开了一种智能控制磨机，本实用新型包括磨机机体和磨机控制柜，所述的磨机机体的轴承部安装底座和轴承部之间设置有荷重传感器，磨机控制柜内设置有能接收荷重传感器信号...
32
电压模式电流控制方法以及系统　[申请号/专利号：200610149874]
申请人/专利权人：应用材料股份有限公司
本发明公开了电压模式电流控制的方法和设备。一种计算机辅助的方法包括：（ａ）在衬底的导电薄膜上开始ＥＣＭＰ抛光步骤；（ｂ）设置电压源的当前输出电压，所述当前输出电压根据Ｅ...
2007年6月6日
33
具有光学和涡流监视的集成结束点检测系统　[申请号/专利号：02809135]
申请人/专利权人：应用材料有限公司
一种化学机械抛光设备（２０）和方法，其可使用涡流监视系统（４０）和光学监视系统（１４０）。来自监视系统的信号可以在输出线上组合并被计算机提取。可以计算抛光垫（３０）的厚...
2004年6月16日
34
具有两级进给机构的超精密磨床及其控制方法　[申请号/专利号：200610147561]
申请人/专利权人：东华大学、上海第三机床厂
本发明涉及具有两级进给机构的超精密数控磨床，包括精密数控磨床、微进给工作台、检测系统、集成接口系统；微进给工作台包括压电驱动器、柔性铰链机构及其控制系统；检测系统包括位...
2007年6月27日
35
测量轴的变形对化学机械抛光工艺进行实时控制　[申请号/专利号：00120454]
申请人/专利权人：国际商业机器公司
描述了一种用来探测薄膜清除工艺的终点的方法和装置，其中用具有连接到轴的抛光表面的抛光装置来清除薄膜。探测了由抛光表面上的摩擦力引起的扭矩导致的轴的变形。用安装在轴上的传...
2001年1月17日
36
恒电流砂带研磨机构及研磨方法　[申请号/专利号：200610075172]
申请人/专利权人：杭州祥生砂光机制造有限公司
本发明涉及一种恒电流砂带研磨机构和恒电砂光电子线路板的设备及方法，手动试样，将被砂的电子线路板置入砂带与工作台面间，手动调整工作台面进行试砂，将每次砂光时的电流数据均作...
2006年10月11日
37
内部形成有垂直磁头的条杆的研磨方法及其研磨装置　[申请号/专利号：200610059982]
申请人/专利权人：株式会社东芝
本发明涉及一种研磨条杆（４５）的方法，在该条杆内部形成有垂直磁头，每一磁头包括读取元件以及主极和返回轭。该方法包括：准备一条杆（４５），其中靠近读取元件（２２）设置第一...
2006年8月16日
38
拉丝模复合研磨抛光机　[申请号/专利号：89219785]
申请人/专利权人：北京市电加工研究所
加工和修整拉丝模的复合研磨抛光机，在与超声换能器相连结的振动杆和工件拉丝模之间复合加上电火花脉冲。有超声频信号调制电火花脉冲发生的电路、电磁调节振动杆与拉丝模之间的间隙...
39
微机数控无靠模凸轮轴磨床　[申请号/专利号：89205410]
申请人/专利权人：江苏省计算技术研究所、镇江船用柴油机厂
微机数控无靠模凸轮轴磨床属数控机床。它由ＭＧ１４２０外圆磨床的床身、砂轮伺服系统、工件装夹定位系统、冷却液循环系统，加上以０４００Ａ控制机为主体的微机控制系统构成。控制...
40
空间座标微控刃启机　[申请号/专利号：87205801]
申请人/专利权人：开封量具刃具厂、天津大学
空间座标微控刃磨机是机电一体，用微电脑进行控制，用金刚石砂轮进行磨削。为刃磨硬质合金旋转锉（模具铣刀）开刀齿而新设计的专用机床。其技术特征是：用微电脑同时控制的五个步进...
41
42
两端点探位横梁平行度自动补偿调整工艺方法　[申请号/专利号：200610026675]
申请人/专利权人：上海理工大学附属二厂
本发明公开了一种两端点探位横梁平行度自动补偿调整工艺方法，具体步骤是：（１）确定钢轨修复磨削长度；（２）调整磨削装置与钢轨修复段的相对位置；（３）探测磨削；（４）调整磨...
2006年10月25日
43
振动感测自动磨削探位系统及方法　[申请号/专利号：200610026673]
申请人/专利权人：上海理工大学附属二厂
本发明公开了一种振动感测自动磨削探位系统及方法，该系统包括ＰＬＣ控制器，主轴旋转驱动单元，主轴电机及砂轮，主轴进给驱动单元，伺服电机，振动控制器及感测头。具体探位过程是...
2006年10月25日
44
2008年1月23日
45
通用外圆磨床自动定位配磨方法　[申请号/专利号：200610042923]
申请人/专利权人：西北工业大学
本发明公开了一种通用外圆磨床自动定位配磨方法，包括下述步骤：将可调顶杆（６）通过转臂（５）、支架（４）固定在砂轮架（３）上并随其移动，传感器（③）固定在床身上与差动整流...
2006年11月8日
46
板状物的研磨设备及研磨方法　[申请号/专利号：200610017648]
申请人/专利权人：河南安彩高科股份有限公司
本发明属于板状物的精细研磨以及抛光技术领域，尤其涉及一种对ＦＰＤ玻璃基板进行精细研磨和抛光的板状物的研磨设备及研磨方法，本发明的研磨方法，通过使用编程被研磨表面的运动轨...
2006年9月13日
47
具有冗余功能的轧辊磨床数控系统　[申请号/专利号：200610054568]
申请人/专利权人：中铝西南铝板带有限公司
本发明涉及具有冗余功能的轧辊磨床数控系统，包括：一数控计算机系统，一主操作站，其上设有主显示器，一ＰＬＣ可编程逻辑控制器，其“ＰＲＯＦＩＢＳ接口”与ＣＮＣ计算机的“ＰＲ...
2007年7月18日
48
自动检测数控球面磨床　[申请号/专利号：200610050360]
申请人/专利权人：浙江超然数控机械有限公司
本发明涉及一种自动检测数控球面磨床，包括底座、床体、进给机构、工件夹持机构、磨头机构、液压系统、数控系统，主要是在床体上设有自动检测装置，该检测装置由检测元件、检测臂、...
2006年9月20日
49
实时抛光工艺监视　[申请号/专利号：200580019482]
申请人/专利权人：卡伯特微电子公司
一种用于就地监视抛光工艺及其他材料移除工艺的技术使用嵌入晶片载体中的石英晶体纳米天平（２２５）。自晶片移除的材料沉积于该晶体的表面上。由此引起的该晶体的频率漂移指示了经...
2007年5月23日
 
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