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发明名称 全文
专利
使用光学装置 的专利共 60
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平面磨床接触式半在线手动测量仪 [申请号/专利号:200720033632]
申请人/专利权人:韩继俭
本实用新型公开了一种平面磨床接触式半在线手动测量仪,包括装于床身上的支架,横梁与支架以在水平面内可转动形式连接,横梁上装上下移动式触头装置。本实用新型结构简单,使用方便...
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表面抛光方法及装置 [申请号/专利号:200710026837]
申请人/专利权人:谢君
本发明涉及一种表面抛光方法及装置,方法步骤为:通过压力传感器检测抛光轮与待抛光工件之间的压力来确定其的相对位置;通过光电检测器检测被抛光工件的已抛光长度;通过以上信号算...
2007年8月8日
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钻头研磨装置 [申请号/专利号:200620025608]
申请人/专利权人:邱博洪
一种钻头研磨装置,包括磨轮机构、研磨控制装置及光学感测装置;磨轮机构包括由马达带动旋转的第一、第二磨轮,第一、第二磨轮是成侧视时二者研磨缘形成相互交错角度的并排设置定位...
6
数控滚刀铲齿磨床 [申请号/专利号:200720122988]
申请人/专利权人:贵阳工具厂
本实用新型公开了一种数控滚刀铲齿磨床,属于齿轮刀具加工机床;旨在提供一种结构紧凑、加工精度高、铲动频率快、振动小的齿轮加工机床。包括床身部件、主轴部件、铲动部件、磨头部...
7
半导体晶片抛光过程中的光学终点检测装置和方法 [申请号/专利号:200580007089]
申请人/专利权人:斯特拉斯保
公开了一种抛光位于晶片上的材料层并同时测量所述层的厚度变换的方法。光线从位于抛光垫中的光学传感器指向所述晶片的表面。反射光线的强度由同样位于抛光垫中的光线检测器测量。在...
2007年3月14日
8
数字化曲线磨床 [申请号/专利号:200510024955]
申请人/专利权人:上海第三机床厂、上海交通大学
本发明公开了一种数字化曲线磨床,它由主机和辅机站两部分组成,主机为全封闭结构,床身上右边设有多功能的工作台,左边设有砂轮架和滑座,上部为CCD检测装置,电柜位于主机后侧...
2005年9月28日
9
高精度轧辊磨床轧辊圆度及辊形误差在线测量装置及方法 [申请号/专利号:200710038760]
申请人/专利权人:上海大学
本发明涉及一种高精度辊磨床轧辊圆度及辊形误差在线测量装置及方法。能将轧辊安装偏心、机床主轴误差和机床导轨误差用两点误差分离法分离掉,从而大大提高了轧辊的测量精度。测量轧...
2007年9月19日
10
钻头研磨机的进料装置 [申请号/专利号:200620025196]
申请人/专利权人:邱博洪
本实用新型提供一种钻头研磨机的进料装置,其包括进料区、出料区、检测区、研磨区及移料区,进料区包括供容装待研磨钻头的置钻盒排列定位的轨道,出料区包括供容装研磨后钻头的置钻...
11
抛光状态监测设备及使用其的抛光设备 [申请号/专利号:200480025849]
申请人/专利权人:株式会社荏原制作所
提供一种能很容易掌握抛光进度的抛光状态监测设备。该抛光状态监测设备通过在扫描物体(12)的待抛光表面时在相隔预定间隔的每个采样点上获得表示该表面的状态的特征值来监测该表...
2006年10月18日
12
衬底抛光设备 [申请号/专利号:200480013400]
申请人/专利权人:株式会社荏原制作所
一种衬底抛光设备,其将诸如半导体晶片的衬底表面抛光至平坦镜面光洁度。根据本发明的衬底抛光设备包括:可旋转工作台(12),其具有用于抛光半导体衬底(18)的抛光垫;光发射...
2006年6月21日
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基片抛光设备 [申请号/专利号:200480013882]
申请人/专利权人:株式会社荏原制作所、株式会社岛津制作所
一种基片抛光设备(10)抛光基片到平面镜面光洁度。基片抛光设备(10)具有基片(20)被压靠到其上的抛光台(12)、从抛光台(12)发射测量光到基片(20)并接收从基片...
2006年6月21日
14
具有环位校准功能的钻头研磨装置 [申请号/专利号:200620003636]
申请人/专利权人:邱博洪
本实用新型提供一种具有环位校准功能的钻头研磨装置,其包括:一个光学感测装置,其具有至少一个摄取定位的待研磨与研磨后钻头的影像光学感测组件;一个研磨机组,其具有供钻头插置...
15
用于光学加工抛光的标示方法 [申请号/专利号:200610037922]
申请人/专利权人:苏州大学
本发明公开了一种用于光学加工抛光的标示方法,利用干涉仪的波面干涉测量法,由光电器件接收干涉条纹,通过计算获得被测工件表面的高低位置分布,并生成假彩图,其特征在于:采用所...
2006年7月19日
16
一种用于芯片划片机的图像校准方法 [申请号/专利号:200610025803]
申请人/专利权人:上海富安工厂自动化有限公司
本发明公开了一种用于芯片划片机的图像校准方法,芯片划片机使用单个CCD摄像头,在该芯片划片机上装有图形数据采集系统,顺序循环执行如下步骤:步骤一、采集芯片划片机处理的工...
2007年10月24日
17
用于自动制备要安装的镜片的方法和设备 [申请号/专利号:200580041551]
申请人/专利权人:埃西勒国际通用光学公司
所述方法包括以下步骤:自动测量在测量位置中的镜片的识别特性,以便提供镜片的识别参考系;在第二传送中,将所述镜片从其测量位置向与测量位置不同的中间位置传送;在第三传送中,...
2007年11月7日
18
用于自动制备要安装的镜片以允许同时处理多个镜片的设备 [申请号/专利号:200580041535]
申请人/专利权人:埃西勒国际通用光学公司
一种设备包括:测量装置(5),用于自动测量镜片(L1,L2)定位和识别特性;切除装置(6),用于切除镜片,并且包括用于轴向地夹持所述镜片的装置(613,612);以及传...
2007年11月7日
19
衬底周边部分测量装置以及衬底周边部分抛光设备 [申请号/专利号:200580017342]
申请人/专利权人:株式会社荏原制作所
投射/接收单元(52)将激光投射到周边部分(30)上并接收反射光,同时液体被馈送给衬底(14)并在周边部分(30)上流动。信号处理控制器(54)处理反射光的电信号,以决...
2007年5月9日
20
化学机械研磨机台滑片检测方法 [申请号/专利号:200410017414]
申请人/专利权人:上海宏力半导体制造有限公司
本发明提供一种检测硅片机台滑片的方法,利用原本就具有的终点侦测装置,无需再多耗费设备成本,即可有效侦测滑片情形并防止破片情况的发生。本发明系利用设于CMP机台内部的光学...
2005年10月5日
21
一种基于PMAC的高速精密数控磨削加工装置 [申请号/专利号:200420070697]
申请人/专利权人:沈阳建筑大学
一种基于PMAC的高速精密数控磨削加工装置,属于高速高精密磨削加工技术,以CA6140床身做基体,床身上有十字滑台,十字滑台上设有支架,支架上设有电主轴,电主轴的一端设...
22
抛光状态监测装置和抛光装置以及方法 [申请号/专利号:200380101631]
申请人/专利权人:株式会社荏原制作所、株式会社岛津制作所
抛光状态监测装置测量工件之被抛光的表面的特征值,以确定抛光结束点的定时。抛光状态监测装置包括:发光单元,用于将来自光源的光施加到被抛光的工件的表面;光接收单元,用于接收...
2006年1月25日
23
具有检测装置的钻头研磨机 [申请号/专利号:200520132994]
申请人/专利权人:邱博洪
本实用新型提供一种具有检测装置的钻头研磨机,包括利用人工进行待研磨与研磨后钻头置换作业的钻头研磨机本体,该钻头研磨机本体外侧处,设置光学感测装置,该光学感测装置包括可对...
24
用于抛光垫窗口的抗反射层 [申请号/专利号:200410028320]
申请人/专利权人:罗德尔控股公司
一种在化学机械整平(CMP)系统中使用的用于抛光垫窗口的抗散射层。发明尤其适用于具有粗糙下表面窗口的情况。以显著减小光散射的方式在窗口的粗糙下表面上形成抗散射层,同时使...
2004年9月22日
25
化学机械抛光垫以及化学机械抛光方法 [申请号/专利号:200410064056]
申请人/专利权人:JSR株式会社
本发明提供了化学机械抛光垫。该垫含有水不溶性基质和分散于该水不溶性基质材料中的水溶性颗粒,并具有抛光表面和该抛光表面反面上的非抛光表面,该垫具有透光区域,它从抛光表面到...
2005年3月9日
26
一种基于PMAC的高速精密数控磨削加工装置 [申请号/专利号:200410050459]
申请人/专利权人:沈阳建筑大学
一种基于PMAC的高速精密数控磨削加工装置,属于高速高精密磨削加工技术,以CA6140床身做基体,床身上有十字滑台,十字滑台上设有支架,支架上设有电主轴,电主轴的一端设...
2005年8月3日
27
用于指示膜层变化的宽频带光学终点检测系统与方法 [申请号/专利号:03807422]
申请人/专利权人:兰姆研究有限公司
公开了一种用于在化学机械抛光制程中检测终点的系统与方法,包括利用第一宽频带光束(132)照射晶片(300)表面的第一部分。接收第一反射光谱数据。第一反射光谱数据(308...
2005年7月20日
28
板材的倒角装置中的加工尺寸的测量方法和修正方法 [申请号/专利号:200610078617]
申请人/专利权人:中村留精密工业株式会社
一种测量和修正矩形玻璃基板边缘的倒角尺寸的方法。该方法不必把工件从倒角装置上拆卸下来,就能自动检测加工尺寸,并根据检测到的值修正倒角装置的工作台和工具的位置。该方法把定...
2007年8月29日
29
用于化学机械研磨的漩涡电流监测方法和设备 [申请号/专利号:03803195]
申请人/专利权人:应用材料股份有限公司
一种研磨系统(20),可具有一转动平台(24);一固定于平台上的研磨垫(30);一固定基材使其正面朝下对着研磨垫的载具头(10);以及一漩涡电流监测系统,该漩涡电流监测...
2006年2月15日
30
现场衬底成像 [申请号/专利号:200610140724]
申请人/专利权人:应用材料股份有限公司
本发明公开一种用于确定终点的包括计算机程序产品的方法和产品。现场捕获一衬底的部分衬底图像,该图像包括依赖衬底层厚度的光学信息。检查该图像以查找该衬底上的一个位置,并且使...
2007年4月11日
31
切削机器 [申请号/专利号:03800069]
申请人/专利权人:株式会社迪斯科
一种切削机器,其设有用于固定工件的夹台、具有用于切削固定在夹台上的工件的刀片的切削装置,以及具有用于检测刀片的状态的发光部分和光接收部分的刀片检测器,其中,刀片检测器包...
2004年5月12日
32
石材磨光机的红外线轮廓检测装置 [申请号/专利号:03274199]
申请人/专利权人:邱建平
一种石材磨光机的红外线轮廓检测装置,它用非接触式的红外线激光探头代替以前设备上的接触式行程开关,其特征是激光探头等间距地设置在激光探头支架上。为了减少支架上激光探头的数...
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研磨装置及研磨方法 [申请号/专利号:200580027515]
申请人/专利权人:三星钻石工业股份有限公司
本发明实现一种可在用来装载基板的载台单元对大尺寸基板的端面部以良好精度进行去角加工的研磨装置。基板装载于载台单元(60)并以既定基准状态加以固定保持。第1研磨单元(40...
2007年7月25日
34
检测磨料制品取向的系统和方法 [申请号/专利号:200580025699]
申请人/专利权人:3M创新有限公司
本发明公开一种系统和方法,该系统和方法通过检测安装在研磨机上的研磨物的特性来控制研磨机的研磨操作。当通过检测所述研磨物而发现问题时,将会采取适当的行动。作为一个实例,可...
2007年7月4日
35
数控磨床测量尺校准装置 [申请号/专利号:200520046155]
申请人/专利权人:宝山钢铁股份有限公司
一种数控磨床测量尺校准装置,安置在磨床工件床身导轨上;包括,底座,安置在磨床工件床身导轨上;支架插座,固定于所述的底座;固定支架,其下端设有固定杆,该固定杆插入支架插座...
36
数字化曲线磨床 [申请号/专利号:200520040701]
申请人/专利权人:上海第三机床厂、上海交通大学
本实用新型公开了一种数字化曲线磨床,它由主机和辅机站两部分组成,主机为全封闭结构,床身上右边设有多功能的工作台,左边设有砂轮架和滑座,上部为CCD检测装置,电柜位于主机...
37
化学研磨垫、其制造方法及半导体晶圆的化学机械研磨方法 [申请号/专利号:200510068474]
申请人/专利权人:JSR株式会社
本发明提供一种化学机械研磨垫,其包括具有研磨面的研磨基体及熔合在该研磨基体上的透光性构件,且以平行于研磨面的面切断该透光性构件时的剖面形状为长径除以短径的值大于1的椭圆...
2005年11月2日
38
层状抛光垫的成形方法 [申请号/专利号:200510052409]
申请人/专利权人:CMP罗姆和哈斯电子材料控股公司
公开一种层状抛光垫的成形方法,此方法包括使用相应的粘接剂层双层叠层在一个底垫的相对侧面上,以及通过上粘接剂层连接一个抛光垫顶层到底垫。抛光垫任选地包括一个窗口。由于底垫...
2005年8月31日
39
供化学机械抛光用的透明微孔材料 [申请号/专利号:200380102155]
申请人/专利权人:卡伯特微电子公司
本发明涉及一种化学-机械抛光垫基材,包含一种具有平均孔径0.01微米至1微米的多孔材料。该抛光垫基材在200纳米至35,000纳米的至少一个波长下具有透光度10%或更多...
2005年12月14日
40
镜面板抛光装置及镜面板抛光装置的整平方法 [申请号/专利号:02140537]
申请人/专利权人:精碟科技股份有限公司
一种镜面板抛光装置及镜面板抛光装置的整平方法,它包含抛光台枢接于基座之上,以承载镜面板,并将镜面板抛光;整平器是设置于抛光台的上方,通过接触研磨方式整平抛光台;雷射干涉...
2004年1月14日
41
具有光学和涡流监视的集成结束点检测系统 [申请号/专利号:02809135]
申请人/专利权人:应用材料有限公司
一种化学机械抛光设备(20)和方法,其可使用涡流监视系统(40)和光学监视系统(140)。来自监视系统的信号可以在输出线上组合并被计算机提取。可以计算抛光垫(30)的厚...
2004年6月16日
42
基于图像识别精密曲线磨削在线检测方法 [申请号/专利号:200510026801]
申请人/专利权人:上海交通大学
一种用于测量技术领域的基于图像识别的曲线磨削高精度在线检测方法,本发明首先在设定位置处进行工件和砂轮瞬态图像的捕捉和存储:为了防止火花对图像采集质量的影响,必须对工件和...
2006年1月25日
43
在化学机械抛光处理中用于终点触发的系统、方法和装置 [申请号/专利号:02807604]
申请人/专利权人:兰姆研究有限公司
公开了一种在化学机械抛光处理中用于端点触发的发明。在具有端点检测部件的抛光带下方布置传感器阵列,其中该端点检测部件可以是一个端点窗口、抛光带中的孔、或抛光带的透明部分。...
2004年5月26日
44
液晶显示板打磨量的校正装置及其方法 [申请号/专利号:02157181]
申请人/专利权人:LG.菲利浦LCD株式会社
在单位液晶显示板打磨量的校正装置和方法中,通过以下步骤完成工作:打磨单位液晶显示板的边缘;产生单位液晶显示板的打磨图像;通过将打磨图像与参考图像作比较计算误差值;以及根...
2003年10月8日
45
用于抛光晶片的带有窗口系统的磨具及其应用方法 [申请号/专利号:01819533]
申请人/专利权人:3M创新有限公司
本发明涉及一种对晶片或其他工件的表面(22)进行平面化或抛光或其它修饰的加工过程。这一过程使用有形貌结构磨料涂层的磨具(140),该磨料涂层(146)粘结于背衬上。磨具...
2004年2月18日
46
抛光垫及抛光半导体晶片的方法 [申请号/专利号:200410038714]
申请人/专利权人:JSR株式会社
一种研磨垫,一种层合研磨垫以及半导体晶片抛光方法,它们都防止浆料从研磨基材和窗口元件之间的间隙中泄漏和因刮伤而造成的抛光效率降低,并能有效进行抛光终点光学检测。该研磨垫...
2005年1月26日
47
在化学机械抛光中为了处理状态和控制检测晶片表面特性转变的装置和方法 [申请号/专利号:03812394]
申请人/专利权人:兰姆研究有限公司
在化学机械抛光装置中,提供一个具有空腔的晶片承载板,该空腔用于容纳非常接近待抛光的晶片的传感器。由抛光垫和晶片的暴露表面之间的接触得到的能量仅传送非常短的距离给传感器,...
2006年2月15日
48
光纤侧边抛磨装置及其工艺方法 [申请号/专利号:200410077791]
申请人/专利权人:暨南大学
本发明涉及一种光纤侧边抛磨装置,包括对保偏光纤进行定轴及侧边抛磨的装置与对普通光纤的侧边抛磨的装置。本发明所述的光纤侧边抛磨装置,包括底板、用于固定和承载光纤的两个夹具...
2005年6月29日
49
西门子数控系统应用于轧辊磨床工件测量装置 [申请号/专利号:03249444]
申请人/专利权人:险峰机床厂
本实用新型公开了一种西门子数控系统应用于轧辊磨床工件测量装置,由操作控制机、计数模块、光栅信号适配器、短光栅尺、直线长光栅和圆光栅组成,在操作控制机1上安装计数模块2,...
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化学机械研磨装置及其研磨垫轮廓的控制系统与调节方法 [申请号/专利号:200310116437]
申请人/专利权人:茂德科技股份有限公司
一种研磨垫轮廓的控制系统,适于包括研磨垫、研磨台、研磨头以及调节器的一化学机械研磨装置,其中研磨垫包含一透光区。而这种控制系统包括至少一光源、一检测器以及一处理器。而光...
2005年5月25日
 
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