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  由柔性或可变形的元件组成的装置,例如由弹性舌或膜片组成(B81B 5/00优先)(234)  微观结构系统(145)   包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置,例如微—电子—机械系统(MEMS)(B81B 7/04优先)(137)  由彼此相对移动的元件组成的装置,例如由滑动或转动元件组成(80)
  不具有活动或柔性元件的装置,例如微毛细管装置(68)   类似的微观结构装置的网络或排列(27)
 
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