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含酰胺或酰亚胺的新颖共聚物,其制法,及含该共聚物的抗光蚀剂 [申请号/专利号：97126349]
申请人/专利权人：
现代电子产业株式会社
一种可用于抗光蚀剂的新颖共聚物，其是由共聚合至少两种环脂肪族的烯烃与一种酰胺或酰亚胺所制备而得，而包含该共聚物的抗光蚀剂，在使用氟化氩（１９３纳米）光源的一种光石版印刷...
1998年7月15日
韩国
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