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用于等离子抽取孔的安装机构 [申请号/专利号：200480001844]
申请人/专利权人：
艾克塞利斯技术公司
提供了一种用于离子注入机的改进的电极组件。该组件包括：（ｉ）位于第一平面内并具有第一孔的第一大致平面的电极；（ｉｉ）位于大致平行于第一平面的第二平面内并具有与第一孔对准...
2006年1月18日
美国
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等离子体源及使用该等离子体源的离子注入装置 [申请号/专利号：00104533]
申请人/专利权人：
日新电机株式会社
防止在发射的等离子体中包含高能量的电子。等离子体源２ａ配有电磁铁４０（磁场发生装置），该电磁铁在等离子体室容器内，在与等离子体发射孔８的等离子体发射方向２２交叉的方向上...
2000年10月11日
日本
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