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钱眼专利首页 > 用粒子轰击的,如电离器 的专利共 3
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1
碳纳米管电子电离源 [申请号/专利号:200480033283]
申请人/专利权人:美国热电集团
一种用在质谱分析器中的离子源,包括:电子发射器,配置其以发射电子束,其中电子发射器组件包括固定在衬底上用于发射电子束的碳纳米管束、配置以控制电子束发射的第一控制栅格和配...
2007年5月9日
2
具有宽输出电流工作范围的离子源 [申请号/专利号:99103034]
申请人/专利权人:艾克塞利斯技术公司
本发明提供用于离子源的一种衰减器。该离子源包括一等离子体室,在该室内由一激励器将一种气体电离以产生等离子体,通过等离子体室的开有隙缝部分内的至少一条隙缝抽取该等离子体。...
2000年1月19日
3
具有曲折导电路径的离子源源体丝极 [申请号/专利号:97126233]
申请人/专利权人:艾克塞利斯技术公司
本发明公开了一种离子注入机的离子束电源装置(10)的丝极极板(80)。丝极极板是由钨做成的,它有两个空间隔开的缝(96,98)。该缝穿过极板的宽度。缝隙的间隔的宽度完全...
1998年6月10日
 

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