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1
多束金属和气体粒子束发生装置　[申请号/专利号：85100610]
申请人/专利权人：兰州大学
多束金属和气体粒子束发生装置，放电室由金属极板和绝缘片交替叠起构成，金属极板上有两个或两个以上的孔，不同金属极板上的孔数相同或不同，可产生多束电子束和金属离子束，处理面...
1986年8月6日
2
液态金属离子源及其控制方法　[申请号/专利号：200480027321]
申请人/专利权人：应用材料以色列公司
本发明提供一种用来控制液态金属离子源的方法，该液态金属离子源包含一尖端，一第一电极及一第二电极，该方法包括的步骤为：（ｉ）将第一电极保持在第一电压等级范围及将第二电极保...
2006年11月1日
 

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