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1
提高扫描电子显微镜镜筒内部绝缘性能的方法　[申请号/专利号：200810123279]
申请人/专利权人：南京林业大学
一种提高已有扫描电子显微镜镜筒内部绝缘性能的方法，其特征是在高压控制组件外的填充胶和隔离筒之间增加了一个胶片层，并在隔离筒的下部增加一个绝缘垫圈，填充胶改用单组分室温硫...
2008年11月19日
2
一种离子束导管　[申请号/专利号：200710136246]
申请人/专利权人：应用材料有限公司
本发明涉及一种用于离子注入机中的离子束，其位于注入机中与半导体晶片相邻近的位置。这种导管用来约束在注入过程中晶片中和所使用的带电粒子。根据本发明，一种导管包括一个轴，沿...
2008年3月12日
3
电子显微镜用的封闭式观测环境　[申请号/专利号：200510130413]
申请人/专利权人：李炳寰
本发明是有关一种电子显微镜用的封闭式观测环境，包含有：一壳体，内部具有一容室，该壳体的顶底面各具有至少一观视孔连通于该容室且彼此相对同轴；各该观视孔封设一薄膜；由此，可...
2007年6月13日
4
电子显微镜用的半封闭式观测环境　[申请号/专利号：200510130410]
申请人/专利权人：李炳寰
本发明是有关一种电子显微镜用的半封闭式观测环境，包含有：一壳体，内部是以隔板分隔形成一容室，以及形成位于该容室下方的一气室，以及形成位于该气室下方的一缓冲室，该容室的顶...
2007年6月13日
5
一种感应耦合等离子体线圈的包装装置　[申请号/专利号：200510126339]
申请人/专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
本发明涉及电感耦合等离子体装置，具体涉及一种感应耦合等离子体线圈的包装装置。本发明公开的一种感应耦合等离子体线圈的包装装置，包括包装盒，其中，所述包装盒为密封盒。本发明...
2006年10月25日
6
磁四极透镜　[申请号/专利号：200520142509]
申请人/专利权人：北京中科信电子装备有限公司
本实用新型公开了一种应用于半导体制造离子注入工艺中所用的离子注入机中的磁四极透镜，它包括两个单元透镜、二个支撑板、一底板、一个固定板，其中两个单元透镜分别通过一个支撑板...
7
8
2008年1月23日
9
2008年1月30日
10
在真空或低压环境中操作气体且可供观测的装置　[申请号/专利号：200610075899]
申请人/专利权人：李炳寰
本发明一种在真空或低压环境中操作气体且可供观测的装置，包含有：一壳体，一侧形成一较扁部，该壳体内部具有至少一隔板，而将该壳体内部分隔形成一气室，以及于该气室外部形成至少...
2007年11月7日
11
离子注入高温靶盘　[申请号/专利号：200610031370]
申请人/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
一种离子注入高温靶盘，包括带冷却水槽的靶盘座，靶盘座外周的晶片夹卡机构经支条同靶盘座相连，二点卡子经其连接角块固定在支条外端部，该支条上开有一条凹槽且其中置有移动板，装...
2007年9月19日
12
离子注入机的一维机械扫描装置　[申请号/专利号：200610076035]
申请人/专利权人：北京中科信电子装备有限公司
本发明公开了一种离子注入机的一维机械扫描装置，包括靶台、伺服电机和线性运动推动机构，线性运动推动机构的连杆和摆动扫描从动臂的两端分别与靶台和固定座活动连接，构成平行四边...
2006年9月13日
13
磁场辅助的自辉光等离子体离子注入装置　[申请号/专利号：200610009999]
申请人/专利权人：哈尔滨工业大学
磁场辅助的自辉光等离子体离子注入装置，涉及一种离子注入装置。传统的高压脉冲自激发产生等离子体方式中存在注入效应小、有延时的问题。磁场辅助的自辉光等离子体离子注入装置，它...
2006年10月11日
14
离子注入机磁铁中的电子注入　[申请号/专利号：200580046588]
申请人/专利权人：瓦里安半导体设备公司
本发明是用一或多个电子源，将电子（１８）注入即将在磁铁的磁极片（１３０，１３２）之间传送的一离子束（１２２）。在本发明部分实施例中，该些电子源是位于磁铁的磁极片的其中之...
2008年1月9日
15
离子注入系统中用于等离子体发生的薄磁控管结构　[申请号/专利号：200480017294]
申请人/专利权人：艾克塞利斯技术公司
一种用于离子束的空间电荷中和的等离子体发生器被披露且置于可操作以产生离子束且沿射束线路径引导所述离子束的离子注入系统内。所述等离子体发生器包括可操作以在一部分所述射束线...
2006年7月26日
16
批量离子注入系统中的晶片背面气体冷却装置　[申请号/专利号：01816354]
申请人/专利权人：艾克塞利斯技术公司
本发明提供一种装置，通过该装置将冷却气体（３０２）从固定的源提供到在转动或旋转的批量离子注入机处理盘（２８２，３８０）中的要被批量离子注入的工件背面。冷却气体（３０２）...
2004年1月7日
17
用于移除离子束中所携带的粒子的系统及方法　[申请号/专利号：01818486]
申请人/专利权人：艾克塞利斯技术公司
一种用于禁止污染粒子与离子束（１６）一起传输的系统包括一个电场发生器（１２、１４），用于产生相对于离子束（１６）的行进路径（２０）的电场（２８）。位于电场（２８）的一个...
2004年2月4日
18
针尖状阴极　[申请号/专利号：91101753]
申请人/专利权人：贾德耀
本发明《针尖状阴极》属于电子仪器仪表领域，本发明需要解决的技术问题及用途是将电镜摄像装置电视机、投影电视机的热阴极都改用针尖状阴极，要以简单的电子显微镜本体的结构，且不...
1992年2月19日
19
用于等离子抽取孔的安装机构　[申请号/专利号：200480001844]
申请人/专利权人：艾克塞利斯技术公司
提供了一种用于离子注入机的改进的电极组件。该组件包括：（ｉ）位于第一平面内并具有第一孔的第一大致平面的电极；（ｉｉ）位于大致平行于第一平面的第二平面内并具有与第一孔对准...
2006年1月18日
20
真空阴极弧直管过滤器　[申请号/专利号：200410044010]
申请人/专利权人：哈尔滨工业大学
真空阴极弧直管过滤器，它涉及的是金属等离子体引入材料表面的装置，具体是一种真空阴极弧直管过滤器。它包含真空阴极弧源头（１）、真空室壁（６），它还包含金属壳体（２）、第一...
2005年6月29日
21
粒子检测的方法和装置　[申请号/专利号：01809944]
申请人/专利权人：瓦里安半导体设备联合公司
一种检测粒子的方法和仪器。被检测的粒子可以是带电的或者是不带电的，并且粒子可以根据由于能量从运动粒子向传感器装置传递以及／或者由于传感器装置上带电粒子的累积而产生传感器...
2003年9月10日
22
自对准电子源装置　[申请号/专利号：01123054]
申请人/专利权人：惠普公司
包括用于电子发射装置的新结构和新材料的自对准电子源装置１０可用于高级存储系统。装置１０包括由介质层（１１，１５，１９）分开的发射电极１３、引出电极１７和聚焦电极２１。通...
2002年2月6日
23
电子显微镜用的超薄液体控制板及其与盒体的组合　[申请号/专利号：200610104120]
申请人/专利权人：李炳寰
本发明是有关一种电子显微镜用的超薄液体控制板及其与盒体的组合，包含有：一板体，具有至少一观视孔，该观视孔的孔壁及该板体表面所结合而成的整体表面上是至少有一较亲水区域以及...
2007年6月13日
24
一种新型的扫描隧道显微镜体　[申请号/专利号：91214028]
申请人/专利权人：重庆大学
一种新型的扫描隧道显微镜体，其微调采用差动压缩弹簧，多级齿轮减速和二级调速步进电机驱动电路，提高了调节精度。隔振除采用弹簧悬挂式平台外，还采用了排斥性磁阻尼，增强了抗外...
25
离子注入机真空管路结构　[申请号/专利号：200620046643]
申请人/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
本实用新型公开了一种离子注入机真空管路结构，其包括一源腔体、一机械泵和设置于所述源腔体与机械泵之间的一阀门，所述阀门与机械泵之间增设一副阀门，当拆下清洁所述阀门时，可先...
26
离子注入机磁分析系统　[申请号/专利号：200620012982]
申请人/专利权人：北京中科信电子装备有限公司
本实用新型公开了一种离子注入机磁分析系统，包括电源控制器、大功率开关电源、霍尔放大器、霍尔探头和磁分析器，其中电源控制器将磁分析器所需的磁场数字信号转化成模拟信号送到大...
27
一种离子源阴极、加热电子枪及弧室之间绝缘装置　[申请号/专利号：200620008175]
申请人/专利权人：北京中科信电子装备有限公司
本实用新型涉及一种离子注入机的长寿命离子源，属半导体器件制造领域，提出一种离子源阴极、加热电子枪及弧室之间绝缘装置，在一陶瓷绝缘块１上设置有用于弧室间定位的弧室间定位孔...
28
利用带电粒子束研究或修改表面的装置和方法　[申请号/专利号：200580019455]
申请人/专利权人：纳沃技术有限公司
提供一种利用带电粒子对样品进行研究和／或修改的装置，具体为扫描电子显微镜。所述装置包括带电粒子束（１，２）、具有用于使带电粒子束穿过的开孔（３０）的屏蔽元件（１０），其...
2007年5月23日
29
用于相对离子束移除污染粒子的系统及方法　[申请号/专利号：01818500]
申请人/专利权人：艾克塞利斯技术公司
一种用于禁止污染粒子与离子束（１６）一起传输的系统包括一个粒子充电系统（１２），用于在离子束通过的区域中对粒子充电。在充电区域的下游处产生一个电场（５０）以便促使带电粒...
2004年2月4日
30
用于离子束中所携带的微粒的静电收集器　[申请号/专利号：01818276]
申请人/专利权人：艾克塞利斯技术公司
本发明提供一种用于抑制污染物微粒随离子束（４４）的传输的系统（１０），所述系统（１０）包括：一对电极（１４、１６），所述电极（１４、１６）提供离子束（４４）从中行进的相...
2004年2月4日
31
具有预定的最终压力的粒子光学仪器　[申请号/专利号：200710007999]
申请人/专利权人：FEI公司
本发明涉及一种具有预定的最终压力的粒子光学仪器，为此，该仪器的真空室通过第一节气阀与一个装有处在已知压力下的气体或蒸气的容器相连接，并通过第二节气阀与真空泵相连接。通过...
2007年8月8日
32
一个离子束注入系统　[申请号/专利号：88108755]
申请人/专利权人：伊顿有限公司
一个离子束中和器（１０），高能电子（４０）被引导通过离子束中性化区域或含有可电离气体的区域，当高能电子与气体分子碰撞时，电离气体分子产生低能电子，它被带正电的离子束（１...
1989年9月27日
33
移动式电子扫描显微镜　[申请号/专利号：88108716]
申请人/专利权人：特斯拉公司
一种移动式电子扫描显微镜，其样品室５位于其基座中部并带有可视开口６，此开口的尺寸大于该开口平面内的最大点域摆动。样品室真空密闭又可横动地置于一基板上，在此基板中部有一与...
1989年9月13日
34
电子束记录器和电子束照射位置检测方法　[申请号/专利号：200410005495]
申请人/专利权人：松下电器产业株式会社
一种电子束记录器，包括：电子光学系统，用于在信息记录介质的主盘上照射电子束；和电子束照射位置检测单元，用于在电子束由所述电子光学系统照射在主盘上时检测电子光学系统中电子...
2004年11月3日
35
一种用中孔分子筛制备固体强酸的方法　[申请号/专利号：01138951]
申请人/专利权人：大连理工大学
一种用中孔分子筛制备固体强酸的方法，属于制备固体强酸方法的领域，特别涉及到一种用中孔分子筛ＭＣＭ－４１制备固体强酸的方法。其主要技术特征是将全硅ＭＣＭ－４１加入到稀酸溶...
2002年12月18日
36
用于离子注入器的在线晶片电荷检测器和控制系统　[申请号/专利号：01821192]
申请人/专利权人：艾克塞利斯技术公司
提供一种在线电荷检测器和控制系统（３２），其包括：（ｉ）晶片支承件（２２），多个晶片（Ｗ）可以定位在该支承件上以便通过离子束（１８）注入，所述支承件具有布置有直接邻接的...
2004年3月24日
37
扫描探针显微镜立式探头　[申请号/专利号：94217067]
申请人/专利权人：中国科学院化学研究所
本实用新型是一种扫描探针显微镜ＳＰＭ的立式探头，它使用一只旋柄４，通过滑动机构５同时调节支撑探头上部Ⅰ的两个支点运动；再用旋柄６带动螺纹副７调节另一支点，同时配以压电器...
38
立式强流大束斑金属工业离子注入机　[申请号/专利号：92100533]
申请人/专利权人：核工业西南物理研究院
本发明注入机属电物理装置，涉及离子注入金属材料表面改性技术。注入机束线采用立式，使用强流大束斑离子源，工件靶利用直冷式三维传动。与现有技术相比，结构简单，容易操作，装机...
1993年8月18日
39
电子束感生电流样品台　[申请号/专利号：88214251]
申请人/专利权人：赵永生
电子束感生电流样品台是扫描电镜中用于对半导器件的ｐ－ｎ结进行观察和研究的装置，它是为解决应用普通样品测角台电子束感生电流信号引出困难而设计，该装置是将吸收电流放大器作为...
40
透射电镜用微栅及其制备方法　[申请号/专利号：03105357]
申请人/专利权人：李巧玲
本发明涉及一种透射电镜用微栅及其制备方法。本发明主要是解决现有微栅存在的制作复杂、生产效率低和热稳定性差且易变形的技术难点。本发明采用的技术方案是：该透射电镜用微栅，它...
2003年7月30日
41
在真空或低压环境中操作高压腔室且供观测的方法及装置　[申请号/专利号：200510070170]
申请人/专利权人：李炳寰
本发明是有关一种在真空或低压环境中操作高压腔室且供观测的方法及装置，主要是于一壳体内部通过由若干隔板由中央向外逐层形成一腔室，一蒸气室，一缓冲室或多缓冲室，并于该隔板上...
2006年11月15日
42
等梯度加速管　[申请号/专利号：200520011272]
申请人/专利权人：北京中科信电子装备有限公司
本实用新型公开了一种等梯度加速管，该加速管包括：一低压法兰、一低压电极、六个卡圈、一抑制电极、四个中间电极、五个绝缘环、一高压电极、一高压法兰、八根拉杆、六个均压环、一...
 

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