用气体或蒸气放电作电子源的电子枪-钱眼专利分类

发明名称全文

专利

热点信息推荐

热点企业推荐

排序

专利信息

公开日

地区

我要留言

大容量圆筒形平板型干法刻蚀机　[申请号/专利号：90215562]
申请人/专利权人：张崇玖、何圣梅
大容量圆筒形平板型干法刻蚀机是一种等离子体微细加工专用设备。该机容量大，刻蚀精度较高且均匀，能连续完成打底膜、刻蚀、去胶，生产效率高，结构简单，成本低，其特征是：反应室...

电子束处理设备　[申请号/专利号：200480031666]
申请人/专利权人：应用材料公司
本发明的一个实施例是电子束处理设备，其包括：（ａ）室；（ｂ）具有暴露到室的内部的相对较大面积表面的阴极（１２２）；（ｃ）其中具有孔的阳极（１２６），其暴露在室的内部并与...

2006年12月6日

电子喷射装置及离子注入装置　[申请号/专利号：200410078080]
申请人/专利权人：应用材料公司
本发明提供一种可喷出低能量电子从而减轻了维护负担的电子喷射装置及具有该电子喷射装置的离子注入装置。本发明的电子喷射装置（１）具有舱室（２２），该舱室（２２）沿着规定的闭...

2005年3月23日

...

　　共3 条信息，当前显示第 1 - 3 条，共1 页

钱眼网客户服务　　联系方式:E-mail:qianyan.biz@hotmail.com 　免责声明