光阑；与电子或离子光学装置相联的屏蔽；干扰场的补偿-钱眼专利分类

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电子束柱　[申请号/专利号：98805166]
申请人/专利权人：莱卡微系统石版印刷有限公司
一种孔眼部件（１０），包括设有用于电子束（Ｅ）的通道（１２）的本体（１１）和用于阻挡除穿过通道外的部分或全部电子束行进的阻挡面（１５）。阻挡面（１５）呈斜角，使由被阻挡...

2000年6月14日

电子束施加装置和描画装置　[申请号/专利号：200580000963]
申请人/专利权人：株式会社理光、株式会社克莱斯泰克
本发明公开一种电子束施加装置，其包括：发射电子束的热场发射类型的电子源（１２）；正好设置在电子源（１２）下面并且作为将由电子源在第一孔径张角中发射的电子束集聚在小于第一...

2006年10月4日

具有包括可调传动限制缝隙的分隔墙的靶腔的离子注入机　[申请号/专利号：02805094]
申请人/专利权人：瓦里安半导体设备联合公司
一种带电微粒射束装置包括：带电微粒射束源，用于在下游方向上沿着射束路径引导带电微粒射束到达靶；和确定靶腔的处理台。处理台包括腔分隔物，该分隔物在带电微粒束处理靶期间，将...

2004年10月6日

用于屏蔽带电粒子束的设备　[申请号/专利号：200580017795]
申请人/专利权人：纳米束有限公司
用来屏蔽带电粒子束的设备。射束屏蔽单元（１）包括固定到支撑板（１５）的第一和第二屏蔽板（２，３）。阻止器（４）与５第一屏蔽板（２）机械地连接和电连接。...

2007年6月20日

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