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离子注入机的加速-减速管的聚焦效应的弱化 [申请号/专利号:200580044839]
申请人/专利权人:
瓦里安半导体设备公司
一种在减速模式过程中离子注入机的加速-减速管(240)的强聚焦效应的弱化装置及方法。该装置包括一管透镜(250),围绕离子束(104),并与加速-减速管(240)的减速...
2007年12月12日
美国
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2
用于离子束的静电透镜 [申请号/专利号:200580031430]
申请人/专利权人:
艾克塞利斯技术公司
一种供离子束注入器使用的透镜结构。该透镜结构包括沿着离子移动的方向间隔开的第一和第二电极。该透镜结构跨过离子束的宽度延伸,用于偏转进入透镜结构的离子。该透镜结构包括用于...
2007年8月22日
美国
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3
电子光学镜筒及其制造方法 [申请号/专利号:03812860]
申请人/专利权人:
株式会社东京大学TLO
本发明提供适于小型化的电子光学镜筒及其制造方法。筒体(1)包含内筒(11)及外筒(12)。筒体整体上以具有高电阻导电性的陶瓷构成。在内筒的内表面(111),利用电镀、蒸...
2005年8月24日
日本
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4
用于离子注入机中离子束可变聚焦和质量分辨的加速器-减速器静电透镜 [申请号/专利号:98114822]
申请人/专利权人:
艾克塞利斯技术公司
提供用于离子注入系统(10)中的静电三极管透镜(36)。该透镜包括终端电极(37)和可调节透镜子组件(40),该透镜子组件包括各具有匹配的弯曲表面(108、110)的抑...
1999年1月27日
美国
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5
用于离子束的静电平行透镜 [申请号/专利号:200480018009]
申请人/专利权人:
艾克塞利斯技术公司
一种用在离子束注入机上的透镜结构。该透镜结构包括沿离子运动方向间隔开的第一和第二电极。该透镜结构跨过离子束的宽度而在离子束路径的相对侧上延伸,以偏转进入该透镜结构的离子...
2006年8月2日
美国
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6
离子注入器电极 [申请号/专利号:200480030406]
申请人/专利权人:
应用材料公司
本发明提供了一种离子注入器(1),该离子注入器具有减速透镜组件(9),该减速透镜组件包括多个电极(60、61、65),其中减速电极中的一个或多个孔隙(62、63、67)...
2006年11月22日
美国
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