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回转减速浸没式物镜电子光学聚焦、偏转和信号的收集方法 [申请号/专利号:200710002340]
申请人/专利权人:
汉民微测科技股份有限公司
一种回转减速浸没式物简方法,它提供具有大束电流的低电压电子束,相当高的空间分辨率,相当大的扫描范围,和高的信号收集效率。该物镜包括用于在样品附近产生磁场的磁透镜,以把粒...
2007年7月11日
台湾
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2
重离子束的快速磁扫描 [申请号/专利号:95193523]
申请人/专利权人:
日新电机股份有限公司
一种用于在一所选表面上进行离子束扫描的磁偏转装置(34),包括:一个具有带各自扫描线圈(58)和各自极面(52)的磁极的磁扫描结构(50),该磁极面限定了离子束通过(1...
1997年7月9日
日本
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