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采用扫描电子显微镜在非真空环境下检验样品的装置和方法 [申请号/专利号：01819906]
申请人/专利权人：
耶德研究和发展有限公司、EL-MUL技术有限公司
一种适用于与扫描电子显微镜一起使用的腔室（３４）。该腔室包括用隔膜（３６）密封的至少一个孔。隔膜（３６）适于承受真空，并是电子可穿透的，而且腔室（３４）的内部与所述真空...
2004年7月7日
以色
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用于气体环境里的二次电子检测器 [申请号/专利号：88103140]
申请人/专利权人：
电子扫描公司
本发明提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的装置。该装置可以包括一种扫描电子显微镜。本发明还提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的方法。...
1989年2月15日
美国
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