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| 本发明是含有全稀土类氧化物（ＴＲＥＯ）占９５重量％以上的铈类研磨材料粒子的铈类研磨材料浆剂。上述铈类研磨材料粒子中，对应于ＴＲＥＯ的氟含量不到３重量％，利用激光衍射法测得的粒径分布在规定范围内。另外，将对应于ＴＲＥＯ的氟含量定为０．００５－０．５重量％可改善附着性。 |
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铈类研磨材料浆剂及其制造方法
一种铈类研磨材料浆剂，含有全稀土类氧化物（ＴＲＥＯ）占９５重量％以上的铈类研磨材料粒子，其特征在于，上述铈类研磨材料粒子中，对应于ＴＲＥＯ的氟含量不到３重量％，激光衍射法测得的累积１０％粒径（Ｄ↓［１０］）、累积５０％粒径（Ｄ↓［５０］）、累积９０％粒径（Ｄ↓［９０］）、最大粒子粒径（Ｄ↓［ｍａｘ］）在以下的范围内： ０．１μｍ≤Ｄ↓［１０］≤０．６μｍ ０．２μｍ≤Ｄ↓［５０］≤１．０μｍ ０．３μｍ≤Ｄ↓［９０］≤１．５μｍ ０．５μｍ≤Ｄ↓［ｍａｘ］≤５．０μｍ。
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