发明名称  全文 
   
 
专利号:200610065101
  [主 附 图]
  [公开说明书]
  [授权说明书]
 
  钱眼网首页
  钱眼专利首页
  发送留言
  收藏这个专利
 
   
    相关业务范围
    我要申请专利
    我要申请商标
    版权业务
    知识产权海关保护
    诉讼代理
    企业顾问
             更多>>
   
   

 
 



 

液体混合供给方法

本发明提供一种用于制备混合蚀刻溶液的液体混合供给方法,其中将硫酸、过氧化氢、超纯水以及氢氟酸混合到一起。该液体混合供给方法包括:将特定液体化学品供给到混合罐,使得该特定液体化学品以ppm单位混合;以及以预定比将至少两种液体化学品和超纯水供给到混合罐,并使它们混合,其中所述至少两种液体化学品和所述超纯水的供给起始点互不相同。因为硫酸、过氧化氢以及超纯水的供给起始点互不相同,所以,可最小化由于硫酸与过氧化氢之间的反应所产生的热量。

液体混合供给方法

一种液体混合供给方法,包括:    将特定液体化学品供给到混合罐,使得该特定液体化学品以ppm单位混合;以及    以预定比将至少两种液体化学品和超纯水供给到所述混合罐,并使它们混合,其中,所述至少两种液体化学品和所述超纯水的供给起始点互不相同。
 


投资有风险,请您关注我们为您提供的专利咨询服务
  
专利号: 200610065101
申请日: 2006年3月17日
公开/公告日: 2006年10月4日
授权公告日:
申请人/专利权人: 细美事有限公司
国家/省市: 韩国(KR)
邮编:
发明/设计人: 张秀逸、崔光一
代理人: 武玉琴 张友文
专利代理机构: (11290)
专利代理机构地址: ()
专利类型: 发明
公开号: 1840232
公告日:
授权日: 20
公告号: 0000000
优先权: 韩国2005年3月17日10-2005-0022323
审批历史:
附图数: 4
页数: 7
权利要求项数: 2
 请进入中国专利检索数据库核实 

对该专利液体混合供给方法感兴趣:

姓名

电话/邮箱(不显示)

 
关于钱眼 | 服务指南 | 欢迎合作 | 联系我们 | 免责声明
将钱眼设为首页 | 将钱眼推荐给朋友
钱眼网 版权所有 Copyright ©2019 Qianyan.biz All rights reserved. | 网络实名:钱眼
网站咨询热线:010-82727623  E_Mail:qianyan.biz@hotmail.com QQ:532008814