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专利号:200710020864
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光学测量系统的屏蔽方法

本发明公开了一种光学测量系统的屏蔽方法,其特征是在光学测量系统的光学k9玻璃表面上镀ITO透明导电薄膜。镀膜步骤包括:将光学k9玻璃镜面进行预处理;采用DHK-500镀膜装置和ITO烧结靶;将预处理的镜片装夹在基片架上,镜片与靶面之间距离为40~50mm;抽真空,充入氩气,施加射频电压,形成等离子区,通入氧气,监控薄膜生长厚度;对光学k9玻璃表面上沉积薄膜ITO膜,经过真空退火工艺,制得ITO透明导电薄膜。本发明工艺合理先进,在光学测量系统的光学k9玻璃表面上镀ITO透明导电薄膜,使光学测量仪器在各种环境下工作,都能排除电磁干扰,提高光学测量仪器的测量质量和精度。

光学测量系统的屏蔽方法

一种光学测量系统的屏蔽方法,其特征是在光学测量系统的光学k9玻璃表面上镀ITO透明导电薄膜。
 


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专利号: 200710020864
申请日: 2007年4月10日
公开/公告日: 2008年5月21日
授权公告日:
申请人/专利权人: 扬州大学
国家/省市: 江苏(32)
邮编: 225009
发明/设计人: 陈荣发、赵毅红
代理人: 胡定华
专利代理机构: (32222)
专利代理机构地址: ()
专利类型: 发明
公开号: 101183152
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
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审批历史:
附图数: 1
页数: 5
权利要求项数: 1
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