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专利号:200810062441
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一种基于PGC解调干涉扫描的微位移传感器

本发明公开了一种基于PGC解调干涉扫描的微位移传感器。它由光栅干涉,干涉光程差调制和信号处理三个部分组成。其中光栅干涉部分由光源、正弦振幅光栅条、分光棱镜和反射镜组成,该部分基于光栅干涉原理,由干涉条纹感知光栅条位移信息。干涉光程差调制部分由四块微型镜片和压电振动器组成,该部分位于光栅干涉部分的-1级(或+1级)光路上,对干涉信号进行PGC调制。信号处理部分由光电转换器、信号放大器和信号处理电路组成,该部分对干涉信号进行PGC解调,获取位移信息。本发明不但具有条状光栅干涉位移测量动态范围大的优点,而且在引入相位生成载波及其解调技术后,其测量精度得到大幅度提高,分辨率可达到纳米量级以上。

一种基于PGC解调干涉扫描的微位移传感器

一种基于PGC解调干涉扫描的微位移传感器,其特征在于:由光栅干涉、干涉光程差调制和信号处理三个部分组成;其中:    1)光栅干涉部分:包括激光二极管(1)、正弦振幅光栅条(2)、分光棱镜(3)和反射镜(7);正弦振幅光栅条(2)与激光光源的光轴垂直;分光棱镜(3)处于光栅衍射的+1级光路上,分光面与+1级光路成45度角,分光面与光栅栅线平行;反射镜(7)在干涉光程差调制部分(6)后面,反射镜(7)的镜面与光栅栅线平行,并且使-1级光反射后与分光棱镜(3)的分光面成45度角;    2)干涉光程差调制部分(6)处于-1级光路上,并且不改变-1级光的传播方向;    3)信号处理部分:包括光电转换器(4)、信号放大器和信号处理电路(5);光电转换器(4)同光轴设置在分光棱镜(3)后接收干涉信号,其输出端与信号放大器和信号处理电路(5)连接。
 


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专利号: 200810062441
申请日: 2008年6月10日
公开/公告日: 2008年10月22日
授权公告日:
申请人/专利权人: 浙江大学
国家/省市: 杭州(86)
邮编: 310027
发明/设计人: 陈柳华、吴兴坤
代理人: 林怀禹
专利代理机构: 浙江大学专利代理事务所(33200)
专利代理机构地址: 浙江省杭州市玉古路117号6楼浙江大学内(310013)
专利类型: 发明
公开号: 101290215
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权:
审批历史:
附图数: 3
页数: 8
权利要求项数: 2
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