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专利号:200810084518
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气体流动扩散器

本发明提供一种气体流动扩散器。在一个实施例中,提供一种真空处理室,其包括具有内部体积的室本体、设置在内部体积中的衬底支撑件和具有非对称分布的气体喷射端口的气体分配组件。在另一实施例中,提供一种用于真空处理衬底的方法,其包括将衬底设置在处理室内的衬底支撑件上,使处理气体横向流入限定在气体分配板上方的区域中,其中气体分配板定位在处理室中衬底的上方,以及在存在处理气体的情况下对衬底进行处理。

气体流动扩散器

一种真空处理室,包括:    具有内部体积的室本体;    设置在所述内部体积中的衬底支撑件;    泵送端口,其设置在所述衬底支撑件的衬底支撑表面的平面下方,其中,所述泵送端口的位置和所述内部体积的几何形状具有在衬底上产生非对称处理结果的构造,所述衬底设置在所述支撑件的所述衬底支撑表面;以及    气体分配组件,其定位在所述衬底支撑件的所述衬底支撑表面的所述平面的上方,其中,选择所述气体分配组件的构造以调节由于所述泵送端口和所述内部体积的几何形状引起的处理结果的对称性。
 


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专利号: 200810084518
申请日: 2008年3月21日
公开/公告日: 2008年11月19日
授权公告日:
申请人/专利权人: 应用材料公司
国家/省市: 美国(US)
邮编:
发明/设计人: 保罗·比瑞哈特、丹尼尔·J·霍夫曼、詹姆斯·D·卡达希、周逍平、马修·L·米勒
代理人: 赵飞
专利代理机构: (11258)
专利代理机构地址: ()
专利类型: 发明
公开号: 101308771
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 美国2007年3月21日11/689,031
审批历史:
附图数: 7
页数: 10
权利要求项数: 3
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