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专利号:200810087497
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涂布装置及涂布方法

本发明提供一种即使在引导支承架行走的导轨被分割的情况下,也能够避免大量地生产不良基板、并能够提高涂布基板的合格率的涂布装置及涂布方法。该涂布装置具备:配设有保持基板的载物台的基台、在上述基台上被设置成沿特定方向延伸的状态且被分割成多个的轨道、以及沿上述轨道相对上述基板进行相对行走并向上述基板上涂布涂布液的涂布单元;该涂布装置具有如下构成:设置了检测上述涂布单元的动作的变动的检测机构,根据该变动检测机构检测出的结果来判断基板上的涂布状态是否良好,在判断涂布状态不适当的情况下,使上述涂布单元停止。

涂布装置及涂布方法

一种涂布装置,具有:配设有保持基板的载物台的基台、在所述基台上以向特定方向延伸的状态设置并被分隔为多个的轨道、以及沿着所述轨道相对于所述基板相对地行走并且向所述基板涂布涂布液的涂布单元,其特征在于,    设置检测所述涂布单元的动作变动的变动检测机构,根据该变动检测机构的检测结果来判断基板上的涂布液的涂布状态。
 


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专利号: 200810087497
申请日: 2008年3月28日
公开/公告日: 2008年10月1日
授权公告日:
申请人/专利权人: 东丽工程株式会社
国家/省市: 日本(JP)
邮编:
发明/设计人: 森俊裕、中泽源伸
代理人: 陈建全
专利代理机构: 永新专利商标代理有限公司(72002)
专利代理机构地址: 香港九龙尖沙咀东部科学馆道1号康宏广场南座18楼1805-6室()
专利类型: 发明
公开号: 101274313
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 日本2007年3月29日086832/2007
审批历史:
附图数: 6
页数: 12
权利要求项数: 2
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