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| 本发明的目的是在电性光学装置的端子部中抑制界面电阻的增加。本发明在作为电性光学装置的液晶显示装置的下衬底的像素部（１４）中，形成有像素用连接配线（２４）、像素用钼膜（９６）、像素用透明导电膜（２８）的导电堆叠膜，在端子部（２０）中，形成有端子用连接配线（１２４）、端子用钼膜（１９６）、端子用透明导电膜（１２８）的导电堆叠膜。像素用连接配线（２４）与端子用连接配线（１２４）在同一步骤中形成，且具有含钛的最上层。此外，像素用钼膜（９６）与端子用钼膜（１９６）在同一步骤中形成，像素用透明导电膜（２８）与端子用透明导电膜（１２８）在同一步骤中形成。此外，也可使用其它可进行湿式蚀刻的导电材料来取代钼膜。 |
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电性光学装置
一种电性光学装置，其特征在于，具备： 像素部；及 端子部，用以在前述像素部的周边部安装其它半导体电路或其它配线衬底；而 前述端子部具有由下层侧向上层侧依序堆叠下列构件的堆叠结构： 端子用连接配线，具有含钛的最上层； 端子用中间膜，是由可进行湿式蚀刻的导电材料所构成；以及 端子用透明导电膜。
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