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专利号:200810091491
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等离子体处理装置和高频电流的短路电路

本发明提供一种能够减小支承下部电极或上部电极中的至少一方的接地基板和收容容器的内壁之间的电位差的等离子体处理装置。等离子体处理装置(10)包括:收容玻璃基板(G)的腔室(11);配置在该腔室(11)内、作为载置玻璃基板(G)的载置台的下部电极(23);与该下部电极(23)相对配置且向腔室(11)内供给处理气体的喷淋头(12);与该喷淋头(12)的上部电极板(13)连接的高频电源(20);隔着下部绝缘部(25)支承下部电极板(23),并且与腔室(11)的内壁分离配置的接地基板(26);和使该接地基板(26)与腔室(11)的内壁短路的短路板(36),其中,在该短路板(36)和腔室(11)的内壁之间插入有电容器(37),该电容器(37)设置在腔室(11)的内壁。

等离子体处理装置和高频电流的短路电路

一种等离子体处理装置,其特征在于,包括:    收容基板的收容容器;配置在该收容容器内、作为载置所述基板的载置台的下部电极;与该下部电极相对配置且向所述收容容器内供给处理气体的上部电极;与所述下部电极或所述上部电极中的至少一方连接的高频电源;隔着绝缘部支承所述下部电极或所述上部电极中的至少一方,并且与所述收容容器的壁分离配置的接地基板;和使该接地基板与所述收容容器的壁短路的短路板,其中,    在所述短路板和所述收容容器的壁之间插入有电容器,该电容器设置在所述收容容器的壁。
 


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专利号: 200810091491
申请日: 2008年4月17日
公开/公告日: 2008年10月22日
授权公告日:
申请人/专利权人: 东京毅力科创株式会社
国家/省市: 日本(JP)
邮编:
发明/设计人: 佐佐木和男、中村充一
代理人: 龙淳
专利代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司(11245)
专利代理机构地址: 北京市西城区宣武门西大街甲129号金隅大厦602室(100031)
专利类型: 发明
公开号: 101290869
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 日本2007年4月17日2007-108421
审批历史:
附图数: 6
页数: 15
权利要求项数: 3
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