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一种压电元件,具备压电体和对压电体在给定方向施加电场的电极,压电体是在基板上形成的单结晶膜,包含不施加电场时具有结晶性的第1强电介质结晶,由具有在给定的电场强度E1以上的电场施加下,第1强电介质结晶的至少一部分向与第1强电介质结晶不同的结晶系的第2强电介质结晶发生相变的特性的无机化合物结晶组成,在满足下式(1)的条件下被驱动。Emin<E1<Emax…(1)(Emin:最小电场施加强度,Emax:最大电场施加强度,E1:从第1强电介质结晶向第2强电介质结晶的相变开始的最小的电场强度)。 |
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压电元件及其驱动方法、压电装置、液体排出装置
一种压电元件,具备具有压电性的压电体和对该压电体在给定方向施加电场的电极,其特征在于, 上述压电体是在基板上形成的单结晶膜, 该单结晶膜包含不施加电场时具有结晶性的第1强电介质结晶,由具有在给定的电场强度E1以上的电场施加下,上述第1强电介质结晶的至少一部分向与该第1强电介质结晶不同的结晶系的第2强电介质结晶发生相变的特性的无机化合物结晶组成, 在最小电场施加强度Emin及最大电场施加强度Emax满足下式(1)的条件下被驱动, Emin<E1<Emax···(1) 式中,电场强度E1是从第1强电介质结晶向第2强电介质结晶的相变开始的最小的电场强度。
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