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专利号:200810108859
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基板搬运装置


基板搬运装置


 


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专利号: 200810108859
申请日: 2008年5月29日
公开/公告日: 2008年12月3日
授权公告日:
申请人/专利权人: 株式会社ORC制作所
国家/省市: 日本(JP)
邮编:
发明/设计人: 水口信一郎、石田肇、松田政昭
代理人: 党晓林 李艳艳
专利代理机构: 北京三友专利代理有限责任公司(11127)
专利代理机构地址: 北京市北三环中路40号(100088)
专利类型: 发明
公开号: 101315524
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 日本2007年5月29日2007-141492
审批历史:
附图数: 6
页数: 11
权利要求项数: 2
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