发明名称  全文 
   
 
专利号:200810109244
  [主 附 图]
  [公开说明书]
  [授权说明书]
 
  钱眼网首页
  钱眼专利首页
  发送留言
  收藏这个专利
 
   
    相关业务范围
    我要申请专利
    我要申请商标
    版权业务
    知识产权海关保护
    诉讼代理
    企业顾问
             更多>>
   
   

 
 



 

用于防止空隙形成的结构以及等离子体处理设备

具有用于防止空隙形成的结构的等离子体处理设备,包括:内部形成等离子体环境的腔体;位于腔体上部位置的上电极;位于腔体下部位置的静电卡盘,其具有下电极并在其顶表面上承载晶片;位于静电卡盘外侧的环;以及将静电卡盘与环之间的间隔与外界隔开的空隙防止单元。

用于防止空隙形成的结构以及等离子体处理设备

一种用于防止空隙形成的结构,包括:    卡盘;    位于该卡盘外侧的环;以及    用于将该卡盘与该环之间的间隔与外界隔开的空隙防止单元。
 


投资有风险,请您关注我们为您提供的专利咨询服务
  
专利号: 200810109244
申请日: 2008年1月10日
公开/公告日: 2008年10月15日
授权公告日:
申请人/专利权人: 三星电子株式会社
国家/省市: 韩国(KR)
邮编:
发明/设计人: 朴义珍、崔允浩、朴仁荣、郑桓一、崔成锡
代理人: 张波
专利代理机构: 柳沈知识产权律师事务所(11105)
专利代理机构地址: 北京市朝阳区北辰东路8号汇宾大厦A0601(100101)
专利类型: 发明
公开号: 101286469
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 韩国2007年1月10日2959/07
审批历史:
附图数: 8
页数: 11
权利要求项数: 3
 请进入中国专利检索数据库核实 

对该专利感兴趣:

姓名

电话/邮箱(不显示)

 
关于钱眼 | 服务指南 | 欢迎合作 | 联系我们 | 免责声明
将钱眼设为首页 | 将钱眼推荐给朋友
钱眼网 版权所有 Copyright ©2018 Qianyan.biz All rights reserved. | 网络实名:钱眼
网站咨询热线:010-82727623  E_Mail:qianyan.biz@hotmail.com QQ:532008814