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专利号:200810112293
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一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺

一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺主要包括:外质量块、内质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、DETF(double-ended tuning fork)、驱动电极、检测电极几部分。结构为轴对称图形,内外质量块都显“回”字型。内质量块里是杠杆放大机构、音叉、驱动电极和检测电极。发明中的“回”字型设计能够使元件在有限体积下实现较大的质量块;内外质量用折叠梁隔开,有效降低了耦合;谐振梁采用DETF形式,并且两端通过细颈结构与外围连接,有效减小谐振梁和外围结构的能量耦合;以对称布置的两个音叉实现谐振频率的差动输出,有效减少了共模干扰。本发明的结构形式提高了加速度计的灵敏度、分辨率,并且运用框架结构减小了驱动方向振动对检测方向的耦合。

一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺

一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺,其特征在于:主要包括:外质量块、内质量块、悬臂梁、两个对称的杠杆放大机构、两个对称的音叉DETF、驱动电极、检测电极;整个结构为轴对称图形的双质量块结构,内外质量块呈“回”字型,两者通过折叠梁对称连接,可实现结构解耦;外质量通过悬臂梁支撑;两个对称的杠杆放大机构、两个对称的音叉DETF、驱动电极和检测电极位于内质量块里,两个音叉的一端之间通过中间锚点连接,两个音叉的另一端通过杠杆放大机构与内质量块连接,且在每个音叉两侧有梳齿,构成驱动电极和检测电极。
 


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专利号: 200810112293
申请日: 2008年5月22日
公开/公告日: 2008年11月12日
授权公告日:
申请人/专利权人: 北京航空航天大学
国家/省市: 北京(11)
邮编: 100083
发明/设计人: 樊尚春、王路达、郭占社
代理人: 贾玉忠 卢纪
专利代理机构: (11251)
专利代理机构地址: ()
专利类型: 发明
公开号: 101303234
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权:
审批历史:
附图数: 1
页数: 3
权利要求项数: 1
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