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专利号:200810125874
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液体供给单元和供给方法、处理基板的设备及处理方法

本发明提供一种液体供给单元和供给方法、处理基板的设备及处理方法。在液体供给单元中,通过使用提供到缓冲容器的气体压缓冲容器中存在的液体,液体从缓冲容器提供到外部单元。提供压强测量部件来测量缓冲容器内的压强,在缓冲容器的再填充期间当缓冲容器内的压强等于或大于预设参考压强时,气体通过排出管线从缓冲容器排出。

液体供给单元和供给方法、处理基板的设备及处理方法

一种液体供给单元,包括:    缓冲容器,包括用于容纳液体的空隙空间;    液体输入管,液体通过该液体输入管从液体储存容器提供到该缓冲容器;    液体供给管,该缓冲容器中存在的液体通过该液体供给管提供到预定单元;    气体输入管,加压气体通过该气体输入管从气体储存容器提供到该缓冲容器以用于压该缓冲容器中存在的液体,从而通过该液体供给管从该缓冲容器排出液体;以及    排出管线,连接到该缓冲容器以用于从该缓冲容器排出所述加压气体。
 


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专利号: 200810125874
申请日: 2008年1月14日
公开/公告日: 2008年11月19日
授权公告日:
申请人/专利权人: 三星电子株式会社
国家/省市: 韩国(KR)
邮编:
发明/设计人: 南太永、金兑壕、金镐旺、李相坤、安炳浩、金炯求
代理人: 陶凤波
专利代理机构: 柳沈知识产权律师事务所(11105)
专利代理机构地址: 北京市朝阳区北辰东路8号汇宾大厦A0601(100101)
专利类型: 发明
公开号: 101307435
公告日:
授权日:
公告号: 000000000
优先权: 韩国2007年1月12日3838/07
审批历史:
附图数: 10
页数: 11
权利要求项数: 4
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