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离子束检查装置、离子束检查方法、半导体制造装置以及离子源装置 |
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| 离子束检查装置、离子束检查方法、半导体制造装置以及离子源装置。源头的中心轴和引出电极排在一条直线上，并通过激光束确定该直线和离子束轴是否同轴。因此，将离子束轴上的发射激光束的光发射单元装配到外壳以代替源头，并将反射激光束的反射镜装配到引出电极。光发射装置还具有检测激光束的功能以检测由反射镜反射的激光束，并将该检测的激光束的强度发送到控制单元。调节引出电极的位置以便使激光束的强度变为最大，由此离子束轴可以和离子源及引出电极的中心轴相重合。 |
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离子束检查装置、离子束检查方法、半导体制造装置以及离子源装置
一种当调节引出电极的位置时使用的离子束检查装置，该引出电极从离子注入半导体内的半导体制造装置中的离子源引出离子束，该离子束检查装置包括： 激光束照射装置，在离子束轴上从离子源侧朝引出电极照射激光束；和 通过位置检测装置，检测该照射的激光束通过引出电极的通过位置。
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