|
|
|
 |
|
|
| 一种多晶硅棒，其特征在于在Ｘ射线衍射图案中表示晶体取向（１１１）的峰的半高宽度为０．３°以下、且沿径向的内应变率小于５．０ｘ１０↑［－５］ｃｍ↑［－１］并且内部铁浓度在０．５ｐｐｂａ以下。该多晶硅棒具有高结晶度、高纯度和低内应变，其制造方法为在由三氯硅烷和氢气组成的气体气氛下加热硅芯材以便使硅沉积在该硅芯材上从而制造多晶硅棒，接着在不使该多晶硅棒与外界空气接触下进行热处理，从而使其减少内应变。 |
|
|
|
|
|
|
|
|
多晶硅棒及其制造方法
一种多晶硅棒，其特征在于在Ｘ射线衍射图案中表示晶体取向（１１１）的峰的半高宽度为０．３°以下、且沿径向的内应变率小于５．０ｘ１０↑［－５］以及内部铁浓度在０．５ｐｐｂａ以下。
|
|
|
|
|
| |
|
