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专利号:99115049
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小型高速压电倾斜反射镜
小型高速压电倾斜反射镜,属于光束控制光学波前校正技术领域,其特征是一压电陶瓷片(4)上集成有偶数个分别作为x、y方向的驱动单元(1)、(2),驱动单元一面为正极,一面为负极;多片带有偶数个作为x、y方向的驱动单元的压电陶瓷片(4),按各驱动单元对应叠加粘接并联构成集成式多点整体结构压电驱动器(17),驱动器(17)的正面连接反射镜(19),背面固定连接于镜座底板(18)。本产品具有体积小、重量轻、成本低、性能好、应用范围广等优点。

小型高速压电倾斜反射镜

小型高速压电倾斜反射镜,镜座底板与反射镜之间的x、y轴相交中心处为固定支点,受高压放大器信号驱动的x、y压电驱动器固定于镜座底板与反射镜之间,是分别推动反射镜绕x、y轴转动的活动支点,其特征在于一压电陶瓷片(4)上集成有偶数个分别作为x、y方向的驱动单元(1)、(2),驱动单元的一面为正极,另一面为负极,多片带有偶数个作为x、y方向的驱动单元的压电陶瓷片(4),按各驱动单元对应叠加粘接并联构成集成式多点整体结构压电驱动器(17),驱动器(17)的正面连接反射镜(19),背面固定连接于镜座底板(18)。
 


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专利号: 99115049
申请日: 1999年7月30日
公开/公告日: 2001年2月7日
授权公告日: 2004年2月18日
申请人/专利权人: 中国科学院光电技术研究所
国家/省市: 成都(90)
邮编: 610209
发明/设计人: 凌宁
代理人: 张一红
专利代理机构: 四川大学专利事务所(51200)
专利代理机构地址: 四川省成都市九眼桥川大内老滨江楼59号(610064)
专利类型: 发明
公开号: 1282878
公告日:
授权日: 20
公告号: 1138990
优先权:
审批历史:
附图数: 2
页数: 9
权利要求项数: 0
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