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 扩散炉 氧化炉 合金炉 退火炉    
扩散炉 氧化炉 合金炉 退火炉
 
发布时间:2009-07-21 18:01
地  区:山东>青岛市>即墨
公  司:青岛晨立电子有限公司
联 系 人:姜新诚
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电  话: 86-0532-88533525
移动电话: 13869885308
传  真: 86-0532-88533525
地  址: 山东省即墨市石河头工业园128号
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Email:jxc08@163.com
公司网站:
详细说明
 扩散炉 氧化炉 合金炉 退火炉        
   
规  格:CL45-1-4 型  号:CL45 数  量:
品  牌:晨立 包  装: 价  格:

设备用途:用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光    电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。

设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。    

主要技术指标:

★  炉管数:      1~4管

★  配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)

★  恒温区长度:  760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃)

7601000 mm±0.5℃(800~1280℃)

★  单点稳定性:  ±1.0℃/24h (300~800℃)

±0.5℃/24h (800~1280℃)

★  气源路数:    ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

★  气体控制:    浮子/质量流量计

★  悬臂舟参数:  速度:    20~1000 mm/min

                        最大行程:2000 mm

                        定位精度:±1 mm

                        最大载荷:17 Kg

★  超净工作台:  净化等级:100级(万级厂房)

噪音:    ≤62dB(A)

振动:    ≤3μm

   
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