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其他名称: 单硅烷、硅甲烷、甲硅烷、四氢化硅、Silane、Monosilane、Sil-icon tetrahydride、Silicon hydride. 分子式: SiH4 UN No. UN 2203 CAS No. 7803-62-5 产品纯度:99.999~99.9999% 包装说明:43L DOT钢瓶,钢瓶尺寸23 × 130cm ,316L SS材质阀门,阀门型号CGA350 产品说明: 无色、有毒、非常活跃的压缩气体,在空气中自燃。硅烷广泛用于硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太阳能电池,光导纤维,有色玻璃制造,化学气相淀积。 注意事项: 工作场所要通风,保持室内空气干燥。装置要严格密封,避免和空气、水分相接触,为此,用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后抽真空,这样反复进行置换和抽真空,一定要彻底清除系统中的空气和水分。装置使用以后,也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏时,从氧化硅粉末的折出中也可以得知。钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处,要远离热源和氯、溴等氧化剂。工作场所要配备足够的防护用品及应急用品。 硅烷本身无腐蚀性,可以使用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃。凡是可燃性的有机高分子材料应该避免使用。 当硅烷大量泄漏时。紧接着就要着火,所以无法用灭火器灭火。但是可以控制火势,使火灾不向周围蔓延。燃烧时辐射热不太高,所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用水或碱吸收,或者在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤器捕捉。
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