用以校正图像缺陷的电子或离子光学装置，如像散校正装置-钱眼专利分类

用于确定粒子-光学透镜的像差函数的像差系数的方法　[申请号/专利号：200610168858]
申请人/专利权人：FEI公司
粒子－光学设备的透镜（如物镜）具有像差这一缺点。正如数十年来众所周知的，龙基图可用来确定粒子－光学透镜的这些像差。这样的方法依赖于比如在一个或一组龙基图中局部放大率的基...

2007年6月13日

用于带状射束离子注入器的高解析度分离磁体　[申请号/专利号：200480013242]
申请人/专利权人：艾克塞利斯技术公司
本发明公开了一种用于带状离子束的质量分析器。该质量分析器包括一对线圈，其确定该分析器入口端及出口端。在该质量分析器的一或多个出入口端或其附近使用场钳制器。这些场钳制器工...

2006年6月21日

八极电磁象散校正装置　[申请号/专利号：88108717]
申请人/专利权人：特斯拉公司
一种八极电磁象散校正装置包括八个线圈（４），这些线圈的轴线垂直于一电光系统的轴线，其中线圈（４）的轴线投影在垂直于所述电光系统轴线的平面内，且汇聚于所述电光系统轴线与所...

1989年7月12日

用于带电荷的射束输送的单极静电四极透镜及切换方法　[申请号/专利号：200480025420]
申请人/专利权人：艾克塞利斯技术公司
本发明降低了射束电流的损失，特别是对于低能量离子束传输。本发明使用单极静电四极透镜取代传统的正和负双电位（双极）四极透镜来作为一线性加速器中的射束聚焦元件，其中减少了其...

2006年10月11日

一种带电粒子束柱体部及其导引方法　[申请号/专利号：03817636]
申请人/专利权人：应用材料股份有限公司、应用材料以色列公司
现提供一种带电粒子束柱体部以及用于将一次带电粒子导引至一样品上的方法。该一次带电粒子束是沿一电子束的初始轴移向一聚焦组件，并通过一电子束成型器以影响该一次带电粒子束的截...

2005年9月21日

电子光学镜筒及其制造方法　[申请号/专利号：03812860]
申请人/专利权人：株式会社东京大学TLO
本发明提供适于小型化的电子光学镜筒及其制造方法。筒体（１）包含内筒（１１）及外筒（１２）。筒体整体上以具有高电阻导电性的陶瓷构成。在内筒的内表面（１１１），利用电镀、蒸...

2005年8月24日

用于带电粒子束装置的圆柱腔体　[申请号/专利号：01805431]
申请人/专利权人：ICT半导体集成电路测试有限公司
本发明提供一种改进的用于带电粒子束装置的圆柱腔体。这个腔体包括偏向器，该偏向器用于在样本表面扫描粒子束、相对于物镜调准粒子束、补偿由物镜所引起的像差。因此，用于偏向器并...

2003年3月19日

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