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| 现提供一种带电粒子束柱体部以及用于将一次带电粒子导引至一样品上的方法。该一次带电粒子束是沿一电子束的初始轴移向一聚焦组件，并通过一电子束成型器以影响该一次带电粒子束的截面部来补偿该聚焦组件的一物镜排列产生的聚焦区散射效应所导致的聚焦偏移，并且该一次带电粒子接着通过一电子束轴校准系统以将该一次带电粒子束的轴相对于该物镜排列的光轴进行校准。 现提供一种带电粒子束柱体部以及用于将一次带电粒子导引至一样品上的方法。该一次带电粒子束是沿一电子束的初始轴移向一聚焦组件，并通过一电子束成型器以影响该一次带电粒子束的截面部来补偿该聚焦组件的一物镜排列产生的聚焦区散射效应所导致的聚焦偏移，并且该一次带电粒子接着通过一电子束轴校准系统以将该一次带电粒子束的轴相对于该物镜排列的光轴进行校准。 |
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一种带电粒子束柱体部及其导引方法
一种将一次带电粒子束导引至一样品上的方法，该方法至少包含下列步骤： （ｉ）将该一次带电粒子束沿一初始电子束移动轴导向一聚焦组件，其中该聚焦组件至少包含一可界定一光轴的物镜排列； （ｉｉ）使该一次带电粒子束沿该初始轴移动通过一电子束成型器，以补偿因该物镜排列所产生的偏移； （ｉｉｉ）将该一次带电粒子束的轴相对于该物镜排列的光轴进行校准，使它通过该电子束成型器并移向该聚焦组件。
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