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钱眼专利首页 > 检测器；所采用的组件或电路 的专利共 23 条
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1
一种纳米材料原位结构性能测试的透射电镜载片　[申请号/专利号：200710122092]
申请人/专利权人：北京工业大学
一种纳米材料原位结构性能测试的透射电镜载片属于纳米材料性能原位检测领域。该载片包括中心金属片（１）、两个附耳（２）、狭缝（３）、扇形燕尾槽（４）、沿狭缝（３）对称分布的...
2008年2月27日
2
等离子体悬浮参考探针　[申请号/专利号：200710158581]
申请人/专利权人：东北大学
本发明涉及一种用于测量等离子体悬浮电位的参考探针，由电极（１）、低通滤波器（２）、高阻（３）、Ｉ－Ｖ变换器（４）、数据采集卡（５）、工业控制计算机（６）组成。电极（１）...
2008年4月30日
3
2008年2月6日
4
离子束检查装置、离子束检查方法、半导体制造装置以及离子源装置　[申请号/专利号：200810125878]
申请人/专利权人：精工电子有限公司
离子束检查装置、离子束检查方法、半导体制造装置以及离子源装置。源头的中心轴和引出电极排在一条直线上，并通过激光束确定该直线和离子束轴是否同轴。因此，将离子束轴上的发射激...
2008年11月12日
5
2008年5月28日
6
2008年1月30日
7
气态环境扫描电子显微镜的改进型电子探测器　[申请号/专利号：89108595]
申请人/专利权人：电子扫描公司
环境扫描电子显微镜的改进型气态探测器装置。该装置的电极几何结构能分离样品表面发出的各种信号。其第一电子探测器与压强限制孔整体形成收集放大的低能二次电子信号。位于压强限制...
1990年5月9日
8
高能电子探测器　[申请号/专利号：97100239]
申请人/专利权人：中国科学院空间科学与应用研究中心
一种高能电子探测器，包括分为由半导体传感器、电荷灵敏前置放大器、脉冲成型部分、主放大器部分、脉冲幅度分析器部分和Ｄ／Ａ转换器部分，并在主放大器部分的输出端分别连接一仪器...
1998年7月15日
9
使用光发射光谱仪的原位剂量监控　[申请号/专利号：200810008211]
申请人/专利权人：应用材料股份有限公司
本发明主要提供了用于在等离子体工艺期间监控离子剂量的方法和装置。本发明的一个实施方式提供一种用于处理衬底的方法，包括生成所述等离子体的至少一种属性和剂量数量之间的相关性...
2008年11月19日
10
一种离子注入机的测漏桶　[申请号/专利号：200710047901]
申请人/专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
本发明提供了一种离子注入机的测漏桶，测漏桶与外部测漏机并行使用，用于对离子各模组进行测漏。它包括测漏桶桶身，测漏桶桶身上具有与外部测漏机连接的抽气孔，测漏桶桶身还开有一...
2008年4月9日
11
2008年1月23日
12
2008年1月30日
13
扫描型电子显微镜及缺陷检测装置　[申请号/专利号：200610156779]
申请人/专利权人：株式会社日立高新技术
一种扫描型电子显微镜，其中，施加用于使一次电子束加速的正电压，并且在物镜的上部配置电场屏蔽板、或磁场屏蔽板、或电磁场屏蔽板。利用具有这样的构造的扫描型电子显微镜获得试样...
2007年8月22日
14
离子束测量方法和离子注入装置　[申请号/专利号：200610149348]
申请人/专利权人：日新意旺机械股份有限公司
当由前级叶片驱动装置沿ｙ方向驱动前级束约束叶片时，测量经过前级束约束叶片侧面的外部并且入射到前级多点法拉第上的离子束的束电流的变化，以便得到在前级束约束叶片的位置处离子...
2007年11月28日
15
用于测量垂直于扫描束或带状束平面的束角度和散度的装置和方法　[申请号/专利号：200580030043]
申请人/专利权人：艾克塞利斯技术公司
本发明通过得到入射角值和垂直于扫描束平面的离子束的散度而方便于半导体器件的制造。采用包括掩模（３１０）和剖面仪／传感器（３１４）的散度探测器以便从入射的离子束（３０８）...
2007年8月8日
16
扫描电子显微镜　[申请号/专利号：200510103948]
申请人/专利权人：株式会社日立科学系统
一种扫描电子显微镜，具有将电子束照射到试样上的照射光学系统，在试样室内放置试样的试样台，在试样台的周围被配置至少一个的电场供给电极，被配置成覆盖电场供给电极那样的离子电...
2006年8月23日
17
发光体，及使用其的电子射线检测器、扫描型电子显微镜和质量分析装置　[申请号/专利号：200580012145]
申请人/专利权人：浜松光子学株式会社
本发明提供一种应答速度快并且发光强度高的发光体，使用该发光体的电子射线检测器，扫描型电子显微镜以及质量分析装置。在本发明的发光体（１０）中，形成在基板（１２）的一个面（...
2007年4月11日
18
测束法拉第装置　[申请号/专利号：200520011269]
申请人/专利权人：北京中科信电子装备有限公司
本实用新型公开了一种测束法拉第装置，属于半导体器件制造领域。所述的测束法拉第装置包括法拉第杯，气缸轴，气缸体，气缸活塞，气缸密封盖，进出气接头，进出水接头，其中法拉第筒...
19
二次电子探测器,尤其是扫描电子显微镜中的二次电子探测器　[申请号/专利号：03813724]
申请人/专利权人：泰斯坎公司
本发明涉及一种二次电子探测器（１），尤其是扫描电子显微镜中的二次电子探测器。本发明的主题是提供一种二次电子探测器，其由位于探测器室（３）内的传感器（２）组成，一真空泵（...
2005年8月24日
20
粒子-光学装置与检测装置　[申请号/专利号：03825121]
申请人/专利权人：FEI公司
一种粒子－光学装置，其中包括：用以安放样品的样品保持具；用以产生沿光轴用以照射样品的第一带电粒子的初级粒子束的粒子源；用以检测由于照射从样品发出的第二带电粒子的第一检测...
2005年11月9日
21
粒子检测的方法和装置　[申请号/专利号：01809944]
申请人/专利权人：瓦里安半导体设备联合公司
一种检测粒子的方法和仪器。被检测的粒子可以是带电的或者是不带电的，并且粒子可以根据由于能量从运动粒子向传感器装置传递以及／或者由于传感器装置上带电粒子的累积而产生传感器...
2003年9月10日
22
电子束检测器、扫描型电子显微镜、质量分析装置及离子检测器　[申请号/专利号：02804285]
申请人/专利权人：滨松光子学株式会社
在电子束检测器中，通过光波导将化合物半导体基片的荧光出射表面与光检测器的光入射面光学耦合，并将化合物半导体基片与光检测器物理连接，从而将化合物半导体基片与光检测器连为一...
2004年4月14日
23
一种用于等离子体动态鞘层诊断的测量方法　[申请号/专利号：200710086479]
申请人/专利权人：中国航空工业第一集团公司北京航空制造工程研究所
本发明涉及离子注入、等离子体刻蚀及增强沉积等领域中等离子体特性诊断的一种用于等离子体动态鞘层诊断的测量方法。将直径为φ２～１０ｍｍ，长度大于等于鞘层扩展估算尺寸的探针垂...
2007年8月15日
24
一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法　[申请号/专利号：200610134481]
申请人/专利权人：大连理工大学
本发明涉及到一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法，用于诊断等离子体的空间电位、电荷密度、电子温度等参数。其特征是使用“准直流”探针偏置信号代替常规的锯齿波扫描偏...
2007年6月27日
25
基于等离子体的离子注入的法拉第剂量和均匀度监测器　[申请号/专利号：200580017420]
申请人/专利权人：瓦里安半导体设备公司
一种法拉第剂量和均匀度监测器可包括环绕目标晶片（２０）的磁抑制环状法拉第杯（８０）。窄孔可减少法拉第杯开口（６０）内的放电。该环状法拉第杯可具有连续的截面以此消除由于中...
2007年8月8日
 

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