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| 本发明涉及一种在串列设备中涂覆基板的方法，其中基板被移动通过至少一个涂覆室，并在其移动过程中被涂覆。在这个方法中，首先，形成涂覆室的模型，该模型考虑到涂覆室参数由于基板移动经过涂覆室而引起的变化。随后，获得基板在涂覆室内的位置。接着，根据涂覆室的模型，以基板的位置为基础设置涂覆室参数。 |
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在串列设备内涂覆基板的方法
一种在串列设备中涂覆基板的方法，其中基板被移动通过至少一个涂覆室，并在其移动过程中被涂覆，其特征在于，该方法的步骤如下： （ａ）形成涂覆室（２）的模型（４０），该模型考虑了涂覆室参数由于基板（５）移动经过涂覆室（２）而引起的变化， （ｂ）获得基板（５）在涂覆室（２）内的位置， （ｃ）根据模型（４０），基于基板（５）的位置来设置涂覆室参数。
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