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脉冲偏压电弧离子镀钛/氮化钛纳米多层超硬薄膜的方法 |
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| 脉冲偏压电弧离子镀钛／氮化钛纳米多层超硬薄膜的方法属于金属材料表面改性技术领域。该方法在电弧离子镀过程中，通过施加脉冲偏压来提高薄膜沉积质量；通过氩和氮的反复交替送气获得钛／氮化钛的多层薄膜结构，并且通过控制交替送气的时间间隔来控制单元层纳米厚度；从而沉积合成虽原材料简单、成本低，却结合力大于７０Ｎ、硬度高于４０Ｇｐａ的钛／氮化钛纳米多层超硬薄膜。该方法沉积速度快、生产效率高、操作简单、利于批量生产，适用于刀、模具及各种机械零部件的表面改性，提高其使用寿命。 |
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脉冲偏压电弧离子镀钛/氮化钛纳米多层超硬薄膜的方法
脉冲偏压电弧离子镀钛／氮化钛纳米多层超硬薄膜的方法，是将工件经过清洗干燥后放入电弧离子镀设备的真空室中，在所有阴极弧源位置上都安装纯钛靶；抽真空到５×１０－３－２×１０－２Ｐａ；通氩气到０．３０－０．６０Ｐａ，启钛弧，弧流定在５０－７０Ａ，加直流负偏压到－８００－ －１０００Ｖ进行溅射清洗３－８分钟；然后开始镀膜；镀膜结束后降偏压、停弧、停气、断电，在真空下炉冷至２０－３０℃；最后放掉真空取出工件；其特征在于，在镀膜阶段，将钛阴极靶弧流调整到６０－８０Ａ；给工件施加脉冲负偏压，偏压幅值为－８００－ －１０００Ｖ、频率为２０－４０ＫＨｚ、占空比为２０－４０％；采用氩／氮反复交替方式向真空室送气，并控制氩气通入时间为５０－１００秒，然后停氩气送入氮气，通入时间为２０－４０秒，然后再换成氩气，同样持续５０－１００秒后再换成氮气，如此交替重复进行，总镀膜时间为４０－６０分钟。
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