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| 本实用新型提供一种磁控溅射介质靶防龟裂加固箍环，该加固箍环由金属材料构成，其加工的内径尺寸与介质靶的直径尺寸紧配合。本实用新型的磁控溅射介质靶的加固箍环，使用４５↑［＃］钢、不锈钢或铜等，采用金属机械加工或其他方法制造，按照介质靶的直径、厚度，选取适当的加工尺寸形成与介质靶相配的环状物，其内径大小略小于室温下介质靶的直径尺寸，其宽度可以略小于或等于、或略大于介质靶的厚度，其厚度以保证具有足够的机械强度为宜。将这一金属箍环加热到略高于磁控溅射时介质靶承受的温度，膨胀后其内径尺寸略大于介质靶的直径尺寸，可箍套在介质靶上，冷却到室温时，则紧紧地箍套在介质靶上。 |
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磁控溅射介质靶防龟裂加固箍环
一种磁控溅射介质靶防龟裂加固箍环，其特征是加固箍环由金属材料构成，其加工的内径尺寸与介质靶的直径尺寸紧配合。
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