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专利号:200480008611
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采用钛与铝材料的混合物涂覆的衬底,制备该衬底的方法和钛与铝金属的阴极靶材
公开了用于溅射含钛铝材料的吸收涂层的钛铝阴极靶材，溅射气氛中包含惰性气体、反应性气体如氮气、氧气和它们的混合物，该混合物中还可以含有惰性气体如氩气，以形成氮化物、氧化物和氮氧化物以及金属薄膜。含钛铝涂层可以用来作为涂层叠层的一个外覆层或者作为一个或多个涂层。

采用钛与铝材料的混合物涂覆的衬底,制备该衬底的方法和钛与铝金属的阴极靶材

一种细长的阴极靶材，其含有１－９９重量％钛和１－９９重量％铝。
 
　　
专利号: 200480008611
申请日: 2004年3月25日
公开/公告日: 2006年5月24日
授权公告日:
申请人/专利权人: PPG工业俄亥俄公司
国家/省市: 美国(US)
邮编:
发明/设计人: J·J·芬利
代理人: 蔡胜有
专利代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所(11038)
专利代理机构地址: 北京市阜成门外大街2号8层(100037)
专利类型: 发明
公开号: 1777690
公告日:
授权日: 20
公告号: 0000000
优先权: 美国2003年3月28日60/458,819
审批历史:
附图数: 14
页数: 41
权利要求项数: 3
国际公布号: WO2004/087985
国际公布日: 2004年10月14日
国际公布语言: 英
国际申请号: PCT/US2004/009150
国际申请日: 2004年3月25日
进入国家阶段日: 2005年9月28日
PCT:
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专利分类:·生活及医学 ·作业及运输 ·化学及冶金 ·纺织及造纸 ·建筑及采矿 ·机械及工程 ·物理及测量 ·电子及通讯
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