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专利号:200480009107
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溅射靶及其制备方法
一种由相同材料制成的金属薄片的对接制成的溅射靶被提供，其中连接部分中的金属互化物具有的平均颗粒直径是非连接部分中的金属互化物平均颗粒直径的６０％至１３０％。在溅射靶中，连接部分中的金属互化物的平均颗粒直径与非连接部分中的近似相同。

溅射靶及其制备方法

一种溅射靶，由相同材料制成的金属薄片的对接制成，其中连接部分中的金属互化物具有的平均颗粒直径是非连接部分中的金属互化物平均颗粒直径的６０％至１３０％。
 
　　
专利号: 200480009107
申请日: 2004年3月22日
公开/公告日: 2006年5月3日
授权公告日:
申请人/专利权人: 株式会社钢臂功科研
国家/省市: 日本(JP)
邮编:
发明/设计人: 松村仁实、米田阳一郎
代理人: 刘晓峰
专利代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司(11021)
专利代理机构地址: 北京市海淀区海淀路80号中科大厦16层(100080)
专利类型: 发明
公开号: 1768157
公告日:
授权日: 20
公告号: 0000000
优先权: 日本2003年4月3日100782/2003
审批历史:
附图数: 1
页数: 15
权利要求项数: 1
国际公布号: WO2004/090194
国际公布日: 2004年10月21日
国际公布语言: 日
国际申请号: PCT/JP2004/003864
国际申请日: 2004年3月22日
进入国家阶段日: 2005年9月30日
PCT:
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专利分类:·生活及医学 ·作业及运输 ·化学及冶金 ·纺织及造纸 ·建筑及采矿 ·机械及工程 ·物理及测量 ·电子及通讯
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