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| 提供具有多种配置的自适用处理元件（５０，１５０－１５６）用于处理系统。处理元件包括主要部件（１８２，２００，２０２，２３０）和至少一个可拆卸部件（１８４，２０８，２３２）。可拆卸部件可以被保留而用于一种配置和被去除而用于另一种配置。可拆卸部件可以包括位于例如其右手侧或者左手侧的冲出部分或者脱落部分（２１０，２１４，２１６），以便分别允许气体供应线接入到右手侧定向或者左手侧定向的处理室。此外，例如可拆卸部件可以被保留或者去除，以允许灵活地用于不同尺寸的处理室。还提供了一种制造具有这些部件的处理元件的方法。该方法可以提供处理元件上的一个或者多个暴露表面的粗糙化，以改善在处理期间材料在这些表面上的粘附。粗糙化过程可以包括砂带打磨一个或者多个暴露表面，以产生表面粗糙度。该粗糙度可以例如为约或者超过Ｒａ＝２５０密耳。 |
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用于处理系统的自适用处理元件和其制造方法
一种处理元件，用于处理系统的两种或者更多种配置中的任意一种，包括： 主要部件；和 耦合到所述主要部件的可拆卸部件，其中，当所述可拆卸部件和所述主要部件保留在一起时，所述处理元件被构造来用于所述处理系统的第一配置，并且当所述可拆卸部件被去除时，所述处理元件被构造来用于所述处理系统的第二配置。
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