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高纯度铪材料、由同种材料构成的靶和薄膜以及高纯度铪的制造方法 |
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| 一种将铪的氯化物制成水溶液，将其溶剂萃取除去铪后，通过中和处理，得到氧化铪，再将其氯化成氯化铪，将其还原得到海绵铪，再将海绵铪再进行电子束溶解，得到高纯度铪锭的高纯度铪的制造方法和由该方法得到的高纯度铪材料、由同种材料组成的靶和薄膜。涉及一种将铪中含有的锆的含量降低的高纯度铪材料、由同种材料组成的靶和薄膜以及其制造方法，提供有效且稳定的制造技术，以及通过此技术得到的高纯度铪材料、由同种材料组成的靶和高纯度铪薄膜。 |
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高纯度铪材料、由同种材料构成的靶和薄膜以及高纯度铪的制造方法
一种高纯度铪材料、由同种材料构成的靶和薄膜，其特征在于，锆的含量是１～１０００ｗｔｐｐｍ、而且，其纯度在除去碳、氧、氮等气体成分后是４Ｎ～６Ｎ。
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