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| 本发明描述了通过设置在一个组装元件上的突起的热膨胀提供与另一组装元件的热接触装配溅镀阴极组件的各部件的方法，及所形成的溅镀阴极。该方法形成了各部件的临时机械连接，该临时机械连接当部件冷却到预定接触温度之下时终止。该方法可选择地包括将装置部件机械地互锁在一起。 |
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溅镀靶安装到垫板上的方法和设计
一种形成溅镀组件的方法，包括： 将第一组装元件和第二组装元件定位，该第一组装元件具有配合表面，该配合表面带有多个突起，该突起具有侧壁，该第二组装元件具有配合表面，该配合表面具有多个相对应的凹槽，该凹槽具有侧壁，由此所述突起容纳在所述凹槽中，其中在所述突起的侧壁和所述凹槽的侧壁之间存在间隙；及 对所述第一组装元件或所述第二组装元件或二者进行加热，由此热膨胀使得所述突起的侧壁和所述凹槽的侧壁在接触温度下接触，以在所述第一组装元件和所述第二组装元件之间形成临时机械固定。
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