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专利号:200480023743
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用于溅射系统的控制系统
一种故障处理算法在时间周期内处理来自溅射系统的多个故障状况信号以产生至少一个用于影响功率发生器工作的命令信号。

用于溅射系统的控制系统

一种用于控制功率发生器的方法，包括：　　　　在时间周期内从溅射系统接收多个故障状况信号；　　　　　用故障处理算法处理所述多个故障状况信号；　　　　以及　　　　产生至少一个影响功率发生器的工作特性的命令信号。
 
　　
专利号: 200480023743
申请日: 2004年8月18日
公开/公告日: 2006年9月27日
授权公告日:
申请人/专利权人: MKS仪器股份有限公司
国家/省市: 美国(US)
邮编:
发明/设计人: M·D·特雷西、J·N·克莱因
代理人: 钱慰民
专利代理机构: 上海专利商标事务所(31100)
专利代理机构地址: 上海市桂平路435号(200233)
专利类型: 发明
公开号: 1839214
公告日:
授权日: 20
公告号: 0000000
优先权: 美国2003年8月18日10/642,505
审批历史:
附图数: 4
页数: 13
权利要求项数: 3
国际公布号: WO2005/019495
国际公布日: 2005年3月3日
国际公布语言: 英
国际申请号: PCT/US2004/026684
国际申请日: 2004年8月18日
进入国家阶段日: 2006年2月20日
PCT:
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专利分类:·生活及医学 ·作业及运输 ·化学及冶金 ·纺织及造纸 ·建筑及采矿 ·机械及工程 ·物理及测量 ·电子及通讯
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