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| 本发明涉及其上面涂有至少一层电介质薄层的诸如玻璃基材的基材（１）。按照本发明，借助于比如磁场辅助和优选在氧和／或氮存在下的反应性的阴极雾化，在曝露在来源于离子源（４）的至少一束离子束（３）的条件下沉积电介质层。本发明的特征在于，所述曝露在离子束下的电介质层被结晶。 |
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涂有介电层的基材及其制造方法和制造装置
基材，特别是玻璃基材，其涂布有至少一层电介质薄层，该薄层通过阴极雾化，特别是磁场辅助和优选在氧和／或氮存在下的反应性的阴极雾化，通过曝露在至少一种来自于离子源（４）的离子束（３）下沉积，其特征在于，曝露在离子束下的所述电介质层是结晶的。
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