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| 一种属于精密机械技术领域集成永磁双稳态微电磁驱动器，本发明包括：衬底、定子、动子，所述的定子包括：微驱动线圈绕组、永磁体、软磁磁轭，永磁体位于微驱动线圈绕组中央，软磁磁轭位于微驱动线圈绕组的下方和四周，软磁磁轭位于永磁体下方，定子和动子固定在衬底上。本发明满足微型光开关等器件对微驱动器在行程、驱动力、响应时间、功耗、集成制造等方面的综合要求。 |
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集成永磁双稳态微电磁驱动器
一种集成永磁双稳态微电磁驱动器，包括：衬底（１）、定子（２）、动子（３），其特征在于，所述的定子（２）包括：微驱动线圈绕组（４）、永磁体（５）、软磁磁轭（６），永磁体（５）位于微驱动线圈绕组（４）中央，软磁磁轭（６）位于微驱动线圈绕组（４）的下方和四周，软磁磁轭（６）位于永磁体（５）下方，定子（２）和动子（３）固定在衬底（１）上。
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