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| 本实用新型属于无机非金属材料领域，特别涉及一种应用在对金刚石膜片进行热化学抛光加工时所采用的夹持装置，尤其适于要求夹具做旋转运动的工况下使用。抛光夹具由齿轮（１）、键（２）、夹套（３）组成；夹套（３）放入齿轮（１）中，用键（２）连接。使用时将将金刚石膜片置入夹套之中，金刚石膜片与夹套间无固定约束，键与金刚石膜之间根据需要加不同重量的金属块，对金刚石膜施加载荷，齿轮和键同时作为载荷施加在陶瓷夹套上，保证陶瓷夹套和抛光盘紧密接触，减少夹具与抛光盘之间的空隙，从而避免金刚石膜片在旋转抛光过程中从夹具与抛光盘之间的空隙处滑脱，且金刚石膜片不随抛光夹具旋转，只是在金属块的压力下与抛光盘做平动运动，不会对金刚石膜造成损害。 |
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一种金刚石膜热化学抛光夹具
一种金刚石膜热化学抛光夹具，其特征在于抛光夹具由齿轮（１）、键（２）、夹套（３）组成；夹套（３）放入齿轮（１）中，用键（２）连接。
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