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专利号:200520078831

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溅射离子泵的电源

本实用新型为一种用于向抽取高真空的溅射离子泵供电的电源。本实用新型是将现有电源的输出端改为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。本实用新型可以同时向至少两台溅射离子泵供电。

溅射离子泵的电源

溅射离子泵的电源，包括变压电路、升压整流电路，以及电源电压、电源电流计量显示电路、安全保护电路和控制开关，其特征在于电源的输出端为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。

专利号:	200520078831
申请日:	2005年5月23日
公开/公告日:
授权公告日:	2006年11月22日
申请人/专利权人:	中国科学院近代物理研究所
国家/省市:	甘肃(62)
邮编:	730000
发明/设计人:	杨晓天、张军辉、游志明、高大庆、蒙峻、胡振军、张喜平、候生军、张新俊
代理人:	张晋
专利代理机构:	甘肃省机械工业专利事务所(62102)
专利代理机构地址:	甘肃省兰州市金昌路128号(730030)
专利类型:	发明
公开号:	0000000
公告日:	2006年11月22日
授权日:	20
公告号:	2839301
优先权:
审批历史:
附图数:	1
页数:	2
权利要求项数:	1
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