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专利号:200520110187
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一种具有在线清洗功能的阳极装置及设有该装置的镀膜机
本实用新型提出一种具有在线清洗功能的阳极装置及设有该装置的镀膜机。在线清洗阳极可绕其中心轴线旋转，在局部空间中设置阳极清洗装置；由于阳极连续旋转而清洗装置的相对方位不变，达到对整个阳极面的连续在线清洗，从而保持阳极面始终处于良好的导电状态，提高了工艺的稳定、可控和重现性。

一种具有在线清洗功能的阳极装置及设有该装置的镀膜机

一种阳极装置，其特征在于其中包括可旋转的阳极及位于阳极一侧的阳极清洗装置。
 
　　
专利号: 200520110187
申请日: 2005年6月22日
公开/公告日:
授权公告日: 2006年11月8日
申请人/专利权人: 北京实力源科技开发有限责任公司、刘阳
国家/省市: 北京(11)
邮编: 100070
发明/设计人: 刘阳
代理人: 丛芳 彭晓玲
专利代理机构: (11279)
专利代理机构地址: ()
专利类型: 发明
公开号: 0000000
公告日: 2006年11月8日
授权日: 20
公告号: 2835254
优先权:
审批历史:
附图数: 4
页数: 9
权利要求项数: 1
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专利分类:·生活及医学 ·作业及运输 ·化学及冶金 ·纺织及造纸 ·建筑及采矿 ·机械及工程 ·物理及测量 ·电子及通讯
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