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| 本实用新型公开了一种多元素溅射靶材结构，是在金属锆的板材上，均匀地拼接多条条形的金属钇，其中，金属锆的板材可以为圆形，条形金属钇可以为扇条形，且多条扇条形的金属钇的大端位于金属锆的板材的边缘，小端朝向金属锆的板材的中心，多条扇条形的金属钇的中心线通过金属锆的板材的中心，并且围绕着该中心多条扇条形的金属钇均匀分布着。本实用新型的优点是，钇的加入量在靶面上于均匀分布；钇的加入量及分布不随溅射环的大小而改变；靶材使用范围大，不受磁控靶形状和位置的影响。 |
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一种多元素溅射靶材结构
一种多元素溅射靶材结构，其特征在于：在金属锆的板材上，均匀地拚接多条条形金属钇。
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