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| 一种具有研磨盘（１２）和起伏盘（１０）的垫修整器以及使用该垫修整器的方法。起伏盘（１０）具有至少一个凸出部分（２６）和至少一个凹进部分（２８）。研磨盘（１２）可释放地固定到凹进部分（２８）的至少一部分上，以形成起伏研磨表面（１６）。起伏盘（１０）允许改变垫修整器，以用于多种工艺和各种工件。 |
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起伏的垫修整器及其使用方法
一种垫修整器，其包括： 研磨盘，所述研磨盘包括研磨表面和与所述研磨表面相对的第二表面；和 起伏盘，所述起伏盘具有紧邻所述研磨盘的所述第二表面的起伏表面，所述起伏盘包括至少一个凸出部分和至少一个凹进部分； 其中，所述研磨盘可释放地固定到所述凹进部分的至少一部分上，以形成起伏研磨表面。
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